Печь для быстрого отжига

Печь для быстрого отжига RTP - это мощное нагревательное устройство, независимо разработанное нашей компанией. В изделии используется импортная инфракрасная нагревательная трубка, разумная новая структура, корпус печи и печная труба могут свободно скользить и могут достигать быстрого повышения и понижения температуры. Размер трубы печи составляет 120 мм, и материал может быть помещен непосредственно на 4 дюйма. Зона реакции образца расположена в закрытой кварцевой полости. Завершая производственный процесс, она также значительно снижает вероятность косвенного загрязнения образца.

Технические характеристики

1. Визуализированный 7-дюймовый сенсорный экран, заданные данные и управление являются графическим интерфейсом, простым в эксплуатации;
2. Корпус печи оснащен высокоточной мобильной платформой, которая работает плавно, без дрожания;
3. Труба печи может свободно перемещаться, а уплотнительный фланец плотно прижат пряжкой. Материал можно класть и извлекать быстро и удобно, избегая возможности утечки воздуха, вызванной искусственным срабатыванием болтового уплотнения; уменьшая нагревательную трубу, вызванную монтажным фланцем. Возможность повреждения; когда печная труба выходит из печи, когда вентилятор не запускается холодным, можно добиться быстрого охлаждения образца в соответствии с экспериментальными требованиями по закалке и внезапному нагреву материалов;
4. Печь изготовлена из импортного поликристаллического волокна вакуумной адсорбции. Она нагревается импортной инфракрасной нагревательной трубкой и имеет срок службы до 5000 часов. Скорость нагрева высокая, а максимальная температура может достигать 1050 °C.
5. Отложенный вакуум, быстрый газовый интерфейс, может использоваться с нашей вакуумной системой, системой смешанного газа;
6. Зарезервированный интерфейс преобразования 485, который может быть подключен к компьютеру с помощью специального программного обеспечения нашей компании, которое может реализовывать функции дистанционного управления, отслеживания в реальном времени, исторических записей и выходных отчетов одной или нескольких электропечей;
7. Установите сигнализацию перегрева и мощность, защиту от утечки, безопасную и надежную эксплуатацию.

Применение

Она используется в исследованиях, разработках и производстве полупроводниковых приборов и может отвечать требованиям быстрого отжига после ионной имплантации, сплавов с быстрым омическим контактом, отжига силицидных сплавов, роста оксидов и селена в фотоэлектрических установках на основе селенида меди индия галлия.

Накопление и другие процессы быстрой термической обработки.

Технические параметры

Модель изделия: CY-R1000-200IT

Конструкция печи: конструкция с двойным кожухом, высокоточная мобильная платформа

Материал печи: высококачественное и особо чистое глиноземное поликристаллическое волокно, печь для вакуумного адсорбционного формования в печи, хорошие изоляционные характеристики

Материал трубки печи: кварцевая трубка высокой чистоты φ210 * 650 мм, эффективное пространство для образца: 8 дюймов

Уплотнительный фланец: Уплотнительный фланец для быстрой экструзии из нержавеющей стали

Система контроля температуры: система контроля температуры использует сенсорный экран, технологию настройки искусственного интеллекта, с регулировкой PID, функцией настройки и может составлять 30 разделов процедур нагрева и охлаждения; точность контроля температуры почвы 1С

Режим отображения: сенсорный ЖК-дисплей

Нагревательный элемент: импортная инфракрасная трубка

Элемент для измерения температуры: термопара N-типа (дополнительная встроенная термопара, мониторинг температуры нагреваемого материала в режиме реального времени)

Рабочая температура: максимальная температура 1050 ° C, постоянная рабочая температура ≤1000 °C

Рекомендуемая скорость нагрева ≤80 ° C /С, максимальная скорость нагрева 200 ° C /С

Скорость охлаждения: 200 ° C или более и ≤25 минут

Зона постоянной температуры: длина зоны нагрева 200 мм

Размер оборудования: 650 мм * 1200 мм * 650 мм (глубокий * широкий * высокий)

Вес нетто оборудования: 185 кг

Источник питания: 220 В переменного тока, 50/60 Гц; номинальная мощность 45 кВт

Дополнительный вакуум: клиенты могут настроить систему низкого или высокого вакуума в соответствии с реальными потребностями

Система подачи газа: клиенты могут выбрать конфигурацию многоканального поплавкового расходомера или смесителя для массового расходомера в соответствии с фактическими потребностями системы подачи газа