Semitool 840-F "Dual Stack" Spin Rinser Dryer

Параметр

Значение

Модель

840-F "Dual Stack"

Тип

Система промывки и сушки пластин (Spin Rinser Dryer, SRD)

Конфигурация

Двухуровневая (Dual Stack) — два независимых модуля обработки, расположенных вертикально

Диаметр обрабатываемых пластин

150–200 мм (6–8 дюймов), опционально до 300 мм

Вместимость кассеты

До 25 пластин на кассету (стандартная кассета)

Тип обработки

Промывка деионизированной водой (DIW) с вращением (spin rinse) и сушка с использованием инертного газа (N₂)

Метод сушки Сушка с использованием горячего изопропилового спирта (IPA) или азота (N₂) с вращением

Управление процессом

Программируемый логический контроллер (PLC) с сенсорным интерфейсом

Система загрузки

Автоматическая или ручная загрузка кассет

Производительность

До 40–60 кассет в час (зависит от рецепта)

Материалы корпуса

Высококачественная нержавеющая сталь (316L) и полипропилен (PP) для химической стойкости

Система фильтрации

Встроенная фильтрация DIW и N₂

Габариты (Ш × Г × В)

Примерно 1.2 × 1.0 × 2.2 м 

Масса

Примерно 500–700 кг

Напряжение питания

200–480 В, 3 фазы, 50/60 Гц

Потребляемая мощность

Примерно 3–5 кВт

Промывка после химико-механической полировки (CMP)

Удаление остатков суспензии и загрязнений после CMP

Промывка после травления

Удаление остатков химических реагентов после мокрого или плазменного травления

Промывка после осаждения

Удаление остатков прекурсоров и побочных продуктов после CVD, PVD, ALD

Финальная очистка пластин

Обеспечение высокой чистоты поверхности перед ключевыми технологическими этапами (литография, эпитаксия)