Основные технические характеристики Rigaku TXRF 3800e
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
TXRF 3800e |
|
Тип |
Рентгенофлуоресцентный спектрометр с полным внешним отражением (TXRF) |
|
Диаметр обрабатываемых пластин |
150–200 мм (6–8 дюймов), опционально до 300 мм |
|
Элементный диапазон |
От натрия (Na) до урана (U) (зависит от конфигурации детектора) |
|
Пределы обнаружения |
10⁹ – 10¹¹ атомов/см² (зависит от элемента и условий измерения) |
|
Тип детектора |
Кремниевый дрейфовый детектор (SDD) с высоким разрешением |
|
Энергетическое разрешение |
< 150 эВ (при Mn Kα) |
|
Источник рентгеновского излучения |
Рентгеновская трубка с вращающимся анодом (W, Mo) или закрытая трубка с двойным анодом (Cr, Mo, W) |
|
Угол падения |
Регулируемый (для достижения условий полного внешнего отражения) |
|
Вакуумная система |
Возможность работы в вакууме для улучшения чувствительности к легким элементам (Na, Mg, Al) |
|
Система загрузки пластин |
Автоматическая кассетная загрузка (до 25 пластин) |
|
Управление |
Промышленный ПК с программным обеспечением Rigaku для автоматического анализа, картографирования загрязнений и статистического контроля процессов (SPC) |
|
Габариты (Ш × Г × В) |
Примерно 1.5 × 1.2 × 1.8 м |
|
Масса |
Примерно 600–800 кг |
|
Напряжение питания |
200–240 В, 1 фаза, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
Примерно 2–3 кВт |
Ключевые особенности
- Метод полного внешнего отражения (TXRF)
Рентгеновский пучок падает на поверхность образца под сверхмалым углом (обычно < 0.1°), что приводит к полному внешнему отражению. Это позволяет минимизировать рассеяние и значительно повысить чувствительность к примесям на поверхности.
TXRF 3800e способен обнаруживать металлические загрязнения (Fe, Ni, Cu, Zn, Cr, Al и др.) на уровне 10⁹ – 10¹¹ атомов/см², что критически важно для контроля чистоты пластин в полупроводниковом производстве.
Метод не требует специальной подготовки образцов и не разрушает пластину, что позволяет использовать измеренные пластины в дальнейшем технологическом процессе.
- Система поддерживает кассетную загрузку (до 25 пластин) и автоматическое картографирование загрязнений по всей поверхности пластины.
- Возможность работы в вакууме
Производство: Япония
JoomShopping Download & Support