Основные технические характеристики Sentech SE400adv
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
SE400adv |
|
Тип |
Спектроскопический эллипсометр (Spectroscopic Ellipsometer) |
|
Спектральный диапазон |
300–1000 нм (стандартно), опционально расширение до 250–2000 нм |
|
Тип источника света |
Ксеноновая лампа (Xe) или галогенная лампа (в зависимости от конфигурации) |
|
Детектор |
Матричный ПЗС-детектор (CCD) с высоким разрешением |
|
Угол падения |
Регулируемый, от 40° до 90° (типовые значения 50°, 60°, 70°) |
|
Диаметр пятна измерения |
Минимально от 50 мкм (с использованием микро-опции) |
|
Диаметр обрабатываемых образцов |
От малых фрагментов до пластин диаметром 200–300 мм (с соответствующими держателями) |
|
Толщина измеряемых пленок |
От 0.1 нм до 100 мкм (зависит от материала и типа пленки) |
|
Точность измерения толщины |
±0.1 нм (для тонких пленок, зависит от модели и рецепта) |
|
Измеряемые параметры |
Толщина пленки, оптические константы (n, k), анизотропия, градиент состава, шероховатость поверхности |
|
Система загрузки |
Ручная загрузка (автоматическая XYZ-платформа опционально) |
|
Управление |
Промышленный ПК с программным обеспечением Sentech для управления измерением, анализа данных и построения оптических моделей |
|
Габариты (Ш × Г × В) |
Примерно 0.8 × 0.6 × 0.5 м |
|
Масса |
Примерно 50–70 кг |
|
Напряжение питания |
100–240 В, 1 фаза, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
Примерно 0.5–1 кВт |
Ключевые особенности
- Спектроскопический эллипсометр
Измеряет изменение поляризации света при отражении от образца в широком спектральном диапазоне. Это позволяет определять толщину, оптические константы (n и k) и другие свойства одно- и многослойных структур.
- Использование CCD-детектора и монохроматора обеспечивает высокое разрешение по длине волны, что позволяет точно анализировать сложные многослойные структуры и определять оптические свойства материалов.
- Опциональная микроопция позволяет проводить измерения на образцах с размером пятна от 50 мкм, что особенно важно для исследования структурированных поверхностей, тестовых структур и отдельных элементов на пластине.
- Система может работать с образцами различного размера — от мелких фрагментов до полных пластин 200–300 мм (с соответствующими держателями и опциональной автоматической XYZ-платформой).
Производство: Южная Корея
JoomShopping Download & Support