Двухголовочный высоковакуумный 2-дюймовый аппарат для магнетронного плазменного напыления постоянного/радиочастотного тока


Производитель: CY Scientific Instrument, Китай

0 USD

CY-VTC-600-2HD - это компактная система магнетронного распыления с двумя 2-дюймовыми источниками мишеней, например, одним источником постоянного тока для нанесения металлической пленки и другим источником радиочастотного излучения для нанесения покрытия на неметаллический материал. В комплект поставки входит датчик толщины пленки, позволяющий пользователю легко контролировать процесс обработки.

Технические характеристики

Номер модели: CY-VTC-600-2HD

Покрытие: Плазменная напыляющая машина

Certification: CE

Название продукта: DC / RF Dual-Head Magnetron Plasma Sp

Источник радиочастотного излучения: 300 Вт

Транспортная упаковка: деревянный футляр

Тип: Линия по производству покрытий

Подложка: керамика и металл

Состояние: новое

Источник постоянного тока: 500 Вт

Производитель: CYKY, Китай

Описание продукта

Двухголовочный высоковакуумный 2-дюймовый магнетронно-плазменный распылитель DC /RF
 
CY-VTC-600-2HD представляет собой компактную систему магнетронного распыления с двумя 2-дюймовыми источниками излучения, например, одним источником постоянного тока для нанесения металлической пленки и другим источником радиочастотного излучения для нанесения покрытия на неметаллический материал. В комплект поставки входит датчик толщины пленки, позволяющий пользователю легко контролировать обработку. Это устройство предназначено для нанесения как одного, так и нескольких слоев пленки на широкий спектр материалов, таких как сплавы, сегнетоэлектрики, полупроводники, керамика, диэлектрики, оптические материалы, ПТФЭ и т.д. по низкой цене.
 
Технические параметры
 

Входная мощность

220 В переменного тока 50/60 Гц, однофазный
2000 Вт (включая насос)




Источник питания

Два источника питания для распыления объединены в один блок управления
Источник постоянного тока: 500 Вт для нанесения покрытий на металлические материалы
Источник РЧ: 300 Вт для нанесения покрытий на неметаллические материалы








Магнетронная распылительная головка

В комплект поставки входят две 2-дюймовые магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения
Одна подключена к источнику радиочастотного излучения для непроводящих материалов
Другая подключена к источнику постоянного тока для нанесения покрытий на металлические материалы
Требования к размеру мишени: диаметр 2 дюйма
Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм как для металлических, так и для непроводящих мишеней (включая подложку)
Для демонстрационных испытаний в комплект входит одна мишень из меди и одна мишень из плавленого SiO2
Рекомендуемый метод нанесения покрытия <ol list-paddingleft-2">

Нанесение покрытия по индивидуальному заказу: Две головки постоянного тока без радиочастотного распыления; две радиочастотные головки без радиочастотного распыления; 3 радиочастотные головки доступны по запросу

Дополнительно: радиочастотный кабель длиной 148 см заменяется за дополнительную плату

Вакуумная камера

Вакуумная камера: диаметр 300 мм x высота 300 мм, изготовлена из нержавеющей стали
Смотровое окно: диаметр 100 мм
Откидная крышка сверху с пневматическим силовым полюсом облегчает замену мишени




Держатель образца

Размер держателя образца: диаметр 140 мм. для. Максимальная скорость вращения пластины 4 "
Скорость вращения держателя образца регулируется: 1-20 об / мин для равномерного покрытия
Температура держателя регулируется от RT до 500 ° C Макс. с точностью +/- 1,0 °C

Регулирование расхода газа
 

Установлены два прецизионных цифровых MFC (регулятора массового расхода), позволяющих заправлять два типа газов
Скорость потока: не более 200 мл/мин (0-200 куб. см)
Скорость потока регулируется на 6-дюймовой сенсорной панели управления

Вакуумная насосная станция
 

Высокоскоростной турбовакуумный насос (производства Германии) устанавливается непосредственно в вакуумной камере макс. вакуумный уровень
Сверхмощный двухступенчатый механический насос, 220 литров в минуту (7,8 CFM), подключается к турбонасосу для увеличения скорости перекачки
В комплект входит мобильная насосная станция, а компактную машину для нанесения покрытия можно установить поверх станции
Стандартный уровень вакуума: <4x10 ^ -5 Торр. Максимальный уровень вакуума: 10 ^-6 торр при камерном запекании

Охладитель воды
 

Для охлаждения обеих магнетронных распылительных головок в комплект поставки входит один охладитель рециркуляционной воды с цифровым управлением температурой.
Диапазон охлаждения: 5 ~ 35 °C
Скорость вспенивания: 16 л/мин.



Опции

По запросу в камеру можно встроить точный кварцевый монитор толщины пленки для контроля толщины покрытия с точностью 0,10 Å.
Для измерения толщины пленки после нанесения покрытия доступны системы анализа тонких пленок и покрытий Pricesion с возможностью измерения.


Габаритные размеры


Закрытая крышка: 48 "× 28 " × 32 " Открытая крышка: 48 "× 28 " × 37"

Вес нетто

200 кг

Гарантия

Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой

 

Модель

Стоимость, доллары США

CY-VTC-600-2HD

По запросу

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support