Двухголовочный высоковакуумный магнетронно-плазменный распылитель постоянного/радиочастотного тока представляет собой компактную систему магнетронного распыления с двумя источниками мишеней, например, один источник постоянного тока для нанесения металлической пленки, а другой источник радиочастотного излучения для нанесения неметаллического материала.
Технические характеристики
Устройство для напыления высоковакуумного магнетронно-плазменного напыления DC / RF с двумя головками предназначено для нанесения как одного, так и нескольких слоев пленки на широкий спектр материалов, таких как сплавы, сегнетоэлектрики, полупроводники, керамика, диэлектрик, оптика, ПТФЭ и т.д. По сравнению с аналогичным оборудованием оно обладает преимуществами небольших размеров и простоты эксплуатации, а также широким спектром материалов, которые могут быть использованы. Это идеальное оборудование для получения пленок из различных типов материалов в лаборатории.
Технические параметры
|
Входная мощность |
Однофазный 220 В переменного тока частотой 50/60 Гц, 2000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды) |
|
Источник питания |
Два источника питания для распыления объединены в один блок управления Источник постоянного тока: мощность 500 Вт для нанесения покрытий на металлические материалы Источник радиочастотного излучения: мощность 300 Вт, частота 13,56 МГц для нанесения покрытий на непроводящие материалы |
|
Магнетронная распылительная головка |
В комплект поставки входят две 2-дюймовые магнетронные напылительные головки с рубашками водяного охлаждения и жалюзи На этой странице продукта также доступна одна модель распылительной головки (в разделе параметры продукта) Устройство подключается к источнику постоянного тока для нанесения покрытий на металлические материалы Другое устройство подключено к источнику RF для непроводящих материалов Требуемый размер мишени: диаметр 2 дюйма Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм как для металлических, так и для непроводящих мишеней (включая подложку) Для демонстрационного тестирования в комплект входит одна мишень из нержавеющей стали и одна мишень из Al2O3 исследовательского класса Устройство для нанесения покрытия по индивидуальному заказу: Две головки постоянного тока без RF; две головки RF без DC; 3 головки RF доступны по запросу |
|
Вакуумная камера |
Вакуумная камера: диаметр 300 мм × высота 300 мм, изготовлена из нержавеющей стали Смотровое окно: Две части диаметром 100 мм. стекло. Одна фиксированная; одна съемная для чистки и замены Откидная крышка с пневматическим силовым полюсом позволяет легко менять цель |
|
Этап отбора проб |
Держатель образца представляет собой вращающуюся и нагреваемую ступень, изготовленную из керамического нагревателя с медной крышкой Размер держателя образца: диаметр 140 мм. Максимум 4 "пластины Скорость вращения: регулируется от 1 до 20 об / мин для равномерного нанесения покрытия Температура держателя регулируется от RT до 500 °C макс. (не более 2 часов) с точностью +/- 1,0 °C с помощью цифрового регулятора температуры |
|
Регулирование расхода газа |
Установлены два прецизионных регулятора массового расхода (MFC), обеспечивающих подачу двух типов газов Скорость потока: 0-200 мл/мин, регулируется на сенсорной панели управления Для выпуска вакуума установлен впускной клапан |
|
Вакуумная насосная станция |
В комплект поставки входит передвижная насосная станция. Установка для нанесения покрытий может быть установлена сверху станции Высокоскоростной турбонасос со скоростью 80 л /с в сочетании с двухступенчатым механическим насосом (220 л/мин) обеспечивает максимальный уровень вакуума и более высокую скорость откачки Стандартный уровень вакуума, подключенный к камере: < 4,0 E-5 Торр. (1,0E-6 Торр с камерным обжигом) |
|
Охладитель воды |
В комплект входит один охладитель рециркуляционной воды с цифровым регулированием температуры. Диапазон охлаждения: 5 ~ 35 ° C Расход: 16 л/мин Давление насоса: 14 фунтов на квадратный дюйм |
|
Габаритные размеры |
Закрытая крышка: 48 "× 28 " × 32" Открытая крышка: 48 "× 28 " × 37" |
|
Масса нетто |
160 кг |
|
Гарантия |
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
DC/RF dual-head high vacuum magnetron plasma sputtering coater
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support