Происхождение продукта: Шэньян, Китай
Пропускная способность: 50 комплектов
VTC-600-2HD Двухголовочный магнетронный распылитель - это оборудование для нанесения покрытий в высоком вакууме, недавно разработанное нашей компанией, и используется для приготовления однослойной или многослойной сегнетоэлектрической пленки, проводящей пленки, пленки из сплава, полупроводниковой пленки, керамической пленки, диэлектрической пленки, оптической пленки, оксидной пленки, твердой пленки, пленки из ПТФЭ и т. Д. Двухголовочная установка для нанесения покрытий на магнетрон VTC-600-2HD оснащена двумя пистолетами-мишенями и двумя источниками питания, один ВЧ-источник питания для напыления непроводящих материалов и один источник питания постоянного тока для напыления токопроводящих материалов.
Технические характеристики
- Он оснащен двумя мишенями, один источник питания RF используется для напыления непроводящих материалов, а один источник питания постоянного тока используется для напыления токопроводящих материалов.
- Различные тонкие пленки могут быть получены с широким спектром применений.
- Небольшой размер и простота в эксплуатации
Технические параметры
|
Наименование продукта |
VTC-600-2HD Двухголовочный магнетронный распылитель |
|
Модель продукта |
VTC-600-2HD |
|
Условия установки |
Это оборудование необходимо использовать на высоте 1000 м или менее, при температуре 25°C±15°C и влажности 55%±10% относительной влажности. 1. Вода: Оборудование оснащено самоциркулирующим охладителем воды (наполнение чистой водой или деионизированной водой) 2. Электричество: 220 В переменного тока, 50 Гц, должно иметь хорошее заземление 3. Газ: Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном (чистота 99,99% или более), а баллоны с аргоном (с двойными наконечниками Ø6 мм) и редукционный клапан должны быть предоставлены пользователями. 4. Верстак: размер 1500 мм×600 мм×700 мм, несущий более 200 кг 5. Вентиляционное устройство: необходимо |
|
Основные параметры (Спецификация) |
1. Напряжение питания: 220 В, 50 Гц 2. Мощность: 900 Вт 3. Внутренний диаметр камеры: Ø300мм 4. Предел степени вакуума: 9,0×10-4 Па 5. Температура нагрева предметного столика: RT-500 °C, точность ±1 °C (температура может быть увеличена в соответствии с фактическими потребностями). 6. Количество орудий-мишеней: 2 шт. (другое количество на выбор) 7. Способ охлаждения мишенной пушки: водяное охлаждение 8. Размер материала мишени: Ø2 дюйма, толщина 0,1-5 мм (разная толщина из-за разных материалов мишени) 9. Мощность распыления постоянного тока: 500 Вт; Мощность ВЧ-распыления: 300 Вт (Тип целевого источника питания не является обязательным, можно выбрать два источника питания постоянного тока или два источника питания РЧ, или один источник питания постоянного тока и один источник питания РЧ.) 10. Столик образца: Ø140 мм, дополнительная функция напряжения смещения может быть установлена в соответствии с требованиями заказчика для достижения более высокого качества покрытия. 11. Скорость предметного столика: регулируется в пределах 1 об/мин-20 об/мин 12. Рабочий газ: Ar и другие инертные газы 13. Путь всасываемого воздуха: массовый расходомер контролирует 2 пути впуска воздуха, один из которых составляет 100SCCM, а другой - 200SCCM. |
|
Размеры и вес продукта |
1. Размер основной машины: 500 мм×560 мм×660 мм 2. Габаритные размеры: 1300 мм×660 мм×1200 мм 3. Размер вакуумной камеры: φ300×300 мм 4. Вес: 160 кг
|
|
Стандартные аксессуары |
1. Система управления питанием постоянного тока: 1 комплект 2. Система управления радиочастотной мощностью: 1 комплект 3. Система контроля толщины пленки: 1 комплект 4. Молекулярный насос (импортирован из Германии): 1 шт. 5. Кулер для воды: 1 шт. 6. Полиэфирная полиуретановая труба (Ø6 мм): 4 м |
|
Дополнительные аксессуары |
Различные материалы мишеней, такие как золото, индий, серебро, платина и т. Д. |
Гарантия
Ограничено одним годом с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
|
Модель: |
Стоимость: |
|
Двухголовочная высоковакуумная магнетронная установка для нанесения покрытий с плазменным распылением |
По запросу |
JoomShopping Download & Support