Высокомощный магнетронный распылитель постоянного тока - это мощный настольный магнетронно-плазменный распылитель с 2-дюймовой целевой головкой водяного охлаждения, охладителем воды и поворотным держателем образца. Установка для нанесения покрытия предназначена для нанесения всех металлических пленок на пластины диаметром до 4 дюймов, включая Zn, Al, Ti и углеродную легкую пленку, по доступной цене. Одна мишень Al включена для немедленного использования.
Технические характеристики
Мощный магнетронный распылитель постоянного тока использует панель управления PLC для управления оборудованием, которая удобна и интуитивно понятна в эксплуатации.Он оснащен 2-дюймовой головкой мишени водяного охлаждения и поворотной пробоотборной площадкой, благодаря чему поверхность образца после нанесения покрытия не деформируется из-за чрезмерной температуры покрытия и даже не повреждает образец; пробоотборную площадку можно вращать, а образец можно поворачивать во время нанесения покрытия, чтобы поверхность образца после нанесения покрытия была однородной. Устройство имеет небольшие размеры и экономично. Это идеальное оборудование для нанесения покрытий на различные металлические пленки. Оно может быть оснащено различными металлическими мишенями и вакуумным насосом.
Технические параметры
|
Входное напряжение |
Питание 220 В переменного тока 50/60 Гц, 110 В обеспечивается с помощью трансформатора мощностью 1000 Вт (предохранитель на 15 А). |
|
Выходная мощность |
1600 В постоянного тока 250 W Макс. 150 мА. Встроенная защита от перегрузки по току (>150 мА) |
|
Камера для образцов |
Трубка из кварцевого стекла, наружный диаметр 165 мм × Внутренний диаметр 150 мм × высота 250 мм |
|
Напыляющая головка и стадия отбора образцов |
В комплект входит 2-дюймовая гибкая магнетронная распылительная головка с рубашкой водяного охлаждения Одна ступень для отбора проб из нержавеющей стали диаметром 50 мм может вращаться от 0 до 5 оборотов в минуту Один затвор с ручным управлением для защиты цели. Имеется держатель распылительной головки для удержания распылительной головки в нерабочем состоянии. Расстояние между распылительной головкой и пробоотборником регулируется в пределах 60-100 мм. Максимальная площадь покрытия: макс. диаметр 4 дюйма. Для охлаждения распылительной головки в комплект входит один охладитель холодной воды с рециркуляцией 10 л/мин. |
|
Панель управления |
6-дюймовая цветная панель управления с сенсорным экраном и интеграцией ПЛК для удобства управления. Одна панель для мониторинга и управления всеми параметрами: вакуумом, током. |
|
Максимальное вакуумное давление |
Встроенный вакуумный порт KF25 Для системы требуется газовый баллон Ar с регулятором давления. (не входит в комплект) <1,0 E-2 Торр лопастным вакуумным насосом (не входит в комплект) для мишеней Au, Ag, Pt, Cu, Mo (не чувствительны к воздуху) <1,0 E-5 Торр турбомолекулярным насосом (не входит в комплект) для мишеней Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn (чувствительных к воздействию воздуха) Самый низкий вакуум может достигать <4,0 E-6 Торр при откачке в течение ночи и выпекании |
|
Газовая атмосфера |
Установлен один игольчатый клапан для впуска Ar-газа для получения лучшего плазменного покрытия Для системы требуется газовый баллон Ar с регулятором давления (не входит в комплект) |
|
Цель |
В комплект входит одна 2-дюймовая медная мишень для тестирования, размер мишени: диаметр 2 дюйма × 2,5 мм. Она также может наносить покрытия Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg и т.д. практически на все виды металлических материалов. Внимание: С помощью этой машины можно наносить покрытие на мишень из алюминия, хрома или никеля, но, пожалуйста, ознакомьтесь с рекомендуемым методом нанесения покрытия перед использованием.Пожалуйста, используйте радиочастотное плазменное магнетронное напыление для нанесения покрытия на глинозем |
|
Габаритные размеры |
Д 440 мм × Ш 330 мм × В 290 мм |
|
Масса нетто |
20 кг |
|
Гарантия |
Срок службы ограничен одним годом |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
High Power DC Magnetron Sputtering Coater
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support