Устройство для нанесения магнетронного напыления на три мишени - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий, разработанная нашей компанией. Оборудование может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.
Технические характеристики
Оборудование для нанесения магнетронного напыления - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий, разработанная нашей компанией. Оборудование для нанесения магнетронного напыления может быть оснащено источником постоянного и радиочастотного питания. Мощность варьируется от 500 Вт до 1000 Вт. Его можно использовать для получения однослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.
По сравнению с обычным плазменным напылением, магнетронное напыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Магнетронная мишень оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и предотвращать накопление тепла на поверхности мишени, благодаря чему магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени.
Благодаря компактному дизайну достигается баланс объема и производительности, красивый внешний вид и широкие функциональные возможности. Вся машина управляется с помощью сенсорного экрана и встроенной программы нанесения одной кнопкой, которая проста в эксплуатации и является идеальным оборудованием для получения тонких пленок в лаборатории.
Технические параметры
|
Источник питания |
220В,50 Гц |
|
|
Полная мощность |
6 кВт |
|
|
Максимальный вакуум |
5x10-4Па |
|
|
Примерная таблица параметров |
Размер |
φ150 мм |
|
Температура нагрева |
500 ℃ макс. |
|
|
Контроль температуры |
±1℃ |
|
|
Скорость вращения |
регулируется от 1 до 20 оборотов в минуту |
|
|
Параметры магнетронной распылительной головки |
Количество |
Размер: 2 дюйма x3 |
|
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение, требуется расход 10л /мин |
|
|
Охладитель воды |
10Л/мин циркуляционным водяным охлаждением |
|
|
Вакуумная камера |
Размер |
φ300 мм x 340 мм H |
|
Материал |
SUS |
|
|
Окно наблюдения |
φ100 мм |
|
|
Режим открытия |
открытый тип, легко заменяемая мишень |
|
|
Регулятор расхода газа |
Одноканальный, 200 см Ar; |
|
|
Вакуумный насос |
Система молекулярного насоса, перекачивающего 600 л/с |
|
|
Кварцевый вибрирующий толщиномер пленки |
Один комплект, разрешение 0,10 ангстрем |
|
|
Источник питания для распыления |
Источник постоянного тока: 500 Вт x2, подходит для получения металлических пленок Источник радиочастотного питания: 500 Вт, подходит для получения неметаллических пленок |
|
|
Режим работы |
Управление компьютером "все в одном" |
|
|
Габаритные размеры |
1090 мм x 900 мм x 1250 мм |
|
|
Общий вес |
350 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP300S-2DC1RF |
По запросу |
JoomShopping Download & Support