3-дюймовая двухзонная печь CSS представляет собой двухзонную печь для быстрой термообработки с 11-дюймовой кварцевой трубкой O.D. Он предназначен для нанесения пленочного покрытия PVD или CSS (сублимация с близким расстоянием) диаметром до 3 дюймов или площадью 2 ×2 дюйма.
Технические характеристики
3" две зоны CSS в печи нагревается две группы галогенные нагреватели (сверху и снизу), отдельно с Максом. Скорость нагрева 20 ° с/С. В нее встроены два 30-сегментных прецизионных регулятора температуры с точностью +/-1ºC. В комплект поставки входят порт RS485 и управляющее программное обеспечение, позволяющие управлять печью и регистрировать температурный профиль через ПК. Это отличный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечных элементов, таких как CdTe, сульфидные и перовскитные солнечные элементы.
Технические параметры
|
Конструкция печи и вакуумная камера |
Двойной нагреватель, два регулятора температуры, двухканальные расходомеры газа встроены в подвижную раму из алюминиевого сплава Камера изготовлена из трубки из плавленого кварца высокой чистоты Размер кварцевой трубки: 11 "OD /10,8 "ID×9 " H Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316 Габаритные размеры: 850 (Д) ×745 (Ш) × 1615 (В) мм |
|
Вакуумные фланцы |
Верхний фланец с одним вакуумным отверстием KFD-25 и двумя выходами газа (требуется труба 1/4 дюйма) можно поднимать или опускать вручную, чтобы легко загружать и выгружать подложку и выпариваемый материал На нижнем фланце имеется одно вакуумное отверстие KFD-25 с двумя газозаборниками (требуется труба 1/4 дюйма) и игольчатыми клапанами Фланец герметизирован двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и позволяет достичь максимального вакуумного давления 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос в комплект не входит, заказывайте отдельно) Прецизионный антикоррозийный цифровой вакуумметр входит в стандартную комплектацию. |
|
Расходомеры газа |
На панели управления установлены два поплавковых счетчика с диапазоном измерений: 16-160 мл /м 400-4000 мл/м (для продувки) |
|
Нагреватель и держатель для образцов |
Две коротковолновые ИК-лампы в качестве нагревательных элементов для быстрого нагрева. Расстояние между двумя нагревателями регулируется в пределах 10-50 мм Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной рубашкой охлаждения для уменьшения теплового излучения и обеспечения быстрого охлаждения. 3-дюймовый круглый держатель для пластин встроен с верхним нагревателем для загрузки подложки В комплект входит одна пластина AlN с высокой теплопроводностью (диаметр 3 "× толщина 0,5 мм), которая должна располагаться на обратной стороне подложки для равномерного нагрева |
|
Регулятор температуры |
Два прецизионных цифровых регулятора температуры с программируемыми 30 сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями Каждый контроллер оснащен функцией автоматической настройки PID для защиты нагревателей от перерегулирования и функцией сигнализации, позволяющей избежать перегрева и поломки термопары Для записи температурного профиля установлен коммуникационный интерфейс ПК и программное обеспечение. |
|
Рабочая температура |
Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 650ºC Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300ºC зависит от расстояния между двумя нагревателями: Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315℃нагревается только снизу Расстояние 40 мм Макс. разница температур: 350℃нагревается только снизу Расстояние 50 мм Макс. разница температур: 395℃ нагревается только снизу |
|
Скорость нагрева и охлаждения |
Нагрев: <8℃/с (нагрев только одним нагревателем) Охлаждение: < 10℃/с (600-100℃) Макс. |
|
Термическая пара |
Две термические пары типа K (открытые) установлены отдельно на верхнем и нижнем нагревателях |
|
Рабочее напряжение |
208-240 В переменного тока, однофазный, воздушный выключатель 20А |
|
Потребляемая мощность |
Общая мощность 2200 Вт (по 1100 Вт на каждый нагреватель) |
|
Гарантия |
Срок службы ограничен одним годом (гарантия на расходные детали, такие как кварцевые трубки и нагревательные лампы, не распространяется). |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
3" two zones CSS furnace for rapid thermal processing
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support