3 Головки Компактного 1” радиочастотного плазменного магнетронного напыления с возможностью магнетронного напыления постоянным током

Входная мощность
 

· Однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц
· 1000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды)

Источник питания


  

· Радиочастотный генератор мощностью 13,5 МГц, 100 Вт с ручным согласованием входит в комплект поставки и подключается к распылительным головкам
· Диапазон нагрузки: регулируется от 0 до 80. Диапазон настройки: - 200j - 200j регулируется
·Поворотный переключатель позволяет активировать одну распылительную головку одновременно. Распылительные головки можно переключать "в плазме" (отсутствие нарушения вакуума и плазмы во время многослойного процесса)
· Благодаря источнику питания постоянного тока, машина для нанесения покрытий может быть легко модифицирована в источники распыления постоянного тока с диагональю 1 дюйм для нанесения металлических пленок, что позволяет использовать три конфигурации распылительных головок постоянного тока, одну RF / две DC и две RF / одну DC
· Дополнительный генератор RF с автоматическим подбором мощности 300 Вт доступен за дополнительную плату

Магнетронная распылительная головка
 

· В комплект входят три 1-дюймовые магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения, которые вставляются в кварцевую камеру с помощью быстрых зажимов
· Сменный радиочастотный кабель можно приобрести в CYKY
· На фланце встроен один затвор с ручным управлением
· Для охлаждения распылительных головок в комплект входит один охладитель рециркуляционной воды с цифровым управлением 10 л/мин для охлаждения распылительных головок

Мишень для распыления

· Требования к размеру мишени: максимальный диаметр 1 " x толщина 1/8"
· Диапазон расстояний распыления: регулируется на 50-80 мм
· Диапазон углов распыления: регулируется на 0-25 °
· Мишени Cu диаметром 1" и Al2O3 входят в комплект для демонстрационного тестирования
· Различные мишени для распыления оксида диаметром 1" предоставляются по запросу за дополнительную плату
· Для приклеивания мишени в комплект входят медные опорные пластины диаметром 1 мм и 2 мм.

Вакуумная камера

· Вакуумная камера: наружный диаметр 256 мм x внутренний диаметр 238 мм x высота 276 мм, изготовлена из кварца высокой чистоты
· Уплотнительный фланец: диаметр 274 мм из алюминия с уплотнительным кольцом из высокотемпературного силикона
· Защитный кожух из нержавеющей стали входит в комплект поставки для 100% экранирования радиочастотного излучения из камеры
· Максимальный уровень вакуума: 1,0 E-5 Торр с дополнительным турбонасосом и камерным обжигом

Держатель образца

· Держатель образца представляет собой вращающуюся и нагреваемую ступень, изготовленную из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали
· Размер держателя образца: диаметр 50 мм. для. Максимальная толщина пластины 2 дюйма
· Скорость вращения: 1-10 об/ мин регулируется для равномерного нанесения покрытия
·Температура держателя регулируется от RT до макс. 600 °C (максимум 5 минут при 600 ° C; максимум 2 часа при 500 °C) с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового регулятора температуры

Вакуумный насос

· Вакуумный порт KF40 встроен для подключения к вакуумному насосу.
· Уровень вакуума: 1,0E-2 Торр с двухступенчатым механическим насосом в комплекте
1,0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом

Размер

540 мм Д x 540 мм Ш x 1000 мм В

Масса нетто

60 кг

Соответствие требованиям

Одобрение CE

Гарантия

Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой

Модель

Стоимость, доллары США

CY-VTC-3RF

По запросу