Устройство для нанесения покрытий магнетронным напылением с тремя мишенями - это экономичное оборудование для нанесения покрытий, независимо разработанное нашей компанией; оно имеет стандартизацию, модульность и кастомизацию. Три 3-дюймовые мишени для магнетронного распыления, одна - магнитная мишень высокой интенсивности, две - постоянные мишени.
Технические характеристики
Трехцелевая магнетронная напыляющая машина - это экономичное оборудование для нанесения покрытий, независимо разработанное нашей компанией; оно имеет стандартизацию, модульность и индивидуальную настройку. Три 3-дюймовые мишени для магнетронного распыления, одна-магнитная мишень высокой интенсивности, две -постоянная мишень; источником питания являются два источника постоянного тока мощностью 500 Вт и один радиочастотный источник питания мощностью 300 Вт, источник питания постоянного тока можно использовать при получении металлической пленки, а радиочастотный источник питания можно использовать при получении неметаллической пленки, три мишени могут удовлетворить потребности в многослойном или многократном нанесении покрытия.
Оборудование для трехцелевого магнетронного напыления coater оснащено двумя высокоточными массовыми расходомерами. По желанию заказчика можно настроить до четырех газовых трактов в соответствии с требованиями сложной конструкции газовой среды. Прибор оснащен усовершенствованными турбомолекулярными насосами, максимальный вакуум может достигать 1,0 E-5Pa, в то время как другие типы молекулярных насосов доступны для покупки. Газовый тракт молекулярного насоса контролируется несколькими электромагнитными клапанами, которые могут открывать камеру для отбора проб без выключения насоса и могут значительно повысить эффективность вашей работы. Изделие может быть оснащено встроенным промышленным управляющим компьютером для управления системой, большая часть функций, таких как управление группой вакуумных насосов и блоком питания для распыления, могут быть реализованы в компьютерной программе, это может еще больше повысить эффективность вашего эксперимента.
Область применения трехцелевой магнетронной напыляющей машины
Оборудование может использоваться для получения одно- или многослойной сегнетоэлектрической пленки, проводящей пленки, пленки из сплава, полупроводниковой пленки, керамической пленки, диэлектрической пленки, оптической пленки, оксидной пленки, твердой пленки, пленки из ПТФЭ и так далее. По сравнению с аналогичным оборудованием, машина для нанесения магнетронного напыления с тремя мишенями не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого объема и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки пленки для материала в лаборатории.
Технические параметры:
|
Название продукта |
Машина для магнетронного распыления с тремя мишенями-нижнее положение пистолета-мишени (интерфейс управления на английском языке) |
|
Модель продукта |
CY-MSP300S-2DC1RF |
|
Источник питания для распыления |
Установлены два источника постоянного тока и один радиочастотный источник питания Мощность постоянного тока: 500 Вт Мощность радиочастотного излучения: 300 Вт |
|
Вакуумная камера |
Вакуумная камера: диаметр 450 мм x высота 450 мм,смотровое окно из нержавеющей стали: диаметр 100 мм |
|
Магнетронная распылительная головка |
Прибор оснащен тремя 3-дюймовыми пушками для магнетронного распыления с мишенями (одна из которых представляет собой мишень с сильными магнитами и две мишени с постоянными магнитами), и все они имеют промежуточный слой с водяным охлаждением, который может охлаждаться охлаждающей водой для материала мишени |
|
Таблица образцов |
Размер стола для образцов: диаметр 150 мм.(стол для образцов может вращаться с регулируемой скоростью: 1-20 об/мин) Максимальная температура нагрева стола для образцов составляет 750℃, а точность контроля температуры составляет +/- 1,0 °C |
|
Регулятор расхода газа |
Внутри прибора установлен массовый расходомер Диапазон: 0-200 см (аргон) Поток газа можно настроить с помощью интеллектуальной системы управления с экраном 15,6 дюйма |
|
Вакуумный насос |
Оснащена набором молекулярных насосов, использующих режим работы в один клик 600л/С |
|
Вакуумметр |
Вакуумметр EF Kompirani MPG400 Диапазон измерений: 5 x 10-9 мбар - Атмосферное давление |
|
Датчик толщины пленки |
Кварцевый вибрационный толщиномер пленки установлен на оборудовании и может контролировать толщину пленки в режиме реального времени с разрешением 0,1 А. |
|
Напряжение |
220 В 50 Гц |
|
Примечания |
1. три 3-дюймовые мишени для распыления (одна мишень с сильными магнитами и две мишени с постоянными магнитами) 2. один расходомер 3. вакуумная камера из нержавеющей стали 4. группа молекулярных насосов 5. датчик толщины пленки 6. два источника постоянного тока и один радиочастотный источник питания 7. установка для охлаждения воды 8. с вращающимся нагревательным столом для образцов Интеллектуальная система управления экраном с диагональю 9,15,6 дюйма 10. воздушный компрессор 11. пневматическая задвижка с электрическим управлением 12. запорный клапан с электрическим управлением 13. пневматический боковой насосный клапан с электрическим управлением 14. Диапазон измерения вакуумметра EF kang MPG 400 |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP300S-2DC1RF |
По запросу |
JoomShopping Download & Support