Двухцелевой магнетронный распылитель CYKY-300-2HD оснащен двумя целевыми пушками, одна слабомагнитная мишень используется для нанесения напылением непроводящих материалов, а одна сильная магнитная мишень используется для нанесения напылением ферромагнитных материалов.
Технические характеристики
Двухцелевая магнетронная напыляющая машина CYKY-300-2HD - это оборудование для нанесения покрытий в высоком вакууме, независимо разработанное нашей компанией. Его можно использовать для получения однослойной или многослойной сегнетоэлектрической пленки, проводящей пленки, пленки из сплавов, полупроводниковой пленки и керамики. Пленка, диэлектрическая пленка, оптическая пленка, оксидная пленка, твердая пленка, пленка из политетрафторэтилена и тому подобное. По сравнению с аналогичным оборудованием она обладает преимуществами небольших размеров и простоты в эксплуатации, а также широким спектром материалов, которые могут быть использованы. Это идеальное оборудование для получения пленок из различных типов материалов в лаборатории.
Технические параметры
|
Имя |
Устройство для магнетронного напыления с двойной мишенью |
||
|
Модель |
CYKY-300-2HD |
||
|
Условия установки |
Данное оборудование необходимо использовать на высоте 1000 м или меньше, температура 25℃±15℃, а влажность 55% отн. ВЛ. ± 10% относительной влажности. 1. Вода: Оборудование оснащено самоциркулирующим охладителем (для наполнения чистой или деионизированной водой). 2. Электричество: 220 В Переменного тока частотой 50 Гц, должно быть хорошее заземление. 3. Газ: Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном (чистотой 99,99% или более). Автономный газовый баллон с аргоном (с двойным наконечником Ø6 мм) и редукционным клапаном 4. Верстак: размер 650 мм × 600 мм × 700 мм, грузоподъемность более 200 кг 5. Вентиляционное устройство: необходимо |
||
|
Основные характеристики |
1. Настройте два пистолета-мишени, соответствующий источник радиочастотного питания используется для нанесения напыления на непроводящие мишени, а соответствующий источник постоянного тока используется для нанесения напыления на проводящие материалы. 2. Она может готовить различные пленки и имеет широкий спектр применения. 3. Оно имеет небольшие размеры и простое в эксплуатации. |
||
|
Технические параметры |
1. напряжение питания: 220 В, 50 Гц 2. номинальная мощность: 1200 Вт (без учета вакуумного насоса) 3. Степень рабочего вакуума: 10-4 па 4. рабочая температура: RT-500 ℃, точность ± 1 × (вы можете увеличить температуру в соответствии с фактическими потребностями) 5. количество пушек-мишеней: 1 6. метод охлаждения целевого пистолета: водяное охлаждение 7. Размер мишени: Ø2 ’, толщина 0,1-5 мм (разная толщина в зависимости от материала мишени) 8. Мощность распыления постоянным током: 500 Вт (опционально) 9. Мощность радиочастотного распыления: 300 Вт / 500 Вт (опционально) 10. загрузочный стол для образцов: Ø140 мм 11. скорость стола для отбора проб: регулируется в пределах 1-20 об/мин 12. Защитный газ: инертные газы, такие как Ar и N2 13. Канал всасываемого газа: массовый расходомер контролирует 2 канала всасываемого воздуха, расход составляет 200 куб. см |
||
|
технические характеристики |
Размер основного блока: 500 мм × 560 мм × 660 мм, размер всей машины: 1300 мм × 660 мм × 1200 мм; вес: 160 кг |
||
|
Стандартные принадлежности |
1 |
Система управления мощностью постоянного тока |
1 |
|
2 |
Система управления радиочастотной мощностью |
1 |
|
|
3 |
Система контроля толщины пленки |
1 |
|
|
4 |
Молекулярный насос |
1 |
|
|
5 |
Охладитель |
1 |
|
|
6 |
Труба для охлаждающей воды (Ø6 мм) |
4 |
|
|
Стандартные принадлежности |
Различные мишени, такие как золото, индий, серебро и платина |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CYKY-300-2HD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support