CY-MSP500S-DCRF-RE - это специализированный лабораторный аппарат для нанесения покрытий магнетронным распылением с двумя целевыми позициями, разработанный нашей компанией. Оборудование для нанесения покрытия магнетронным распылением оснащено источником постоянного тока и источником радиочастотного питания, которые могут использоваться для получения однослойной или многослойной электрической пленки из железа, проводящей пленки, пленки из сплава, полупроводниковой пленки, керамической пленки, диэлектрической пленки, оптической пленки и т.д.
Технические характеристики
CY-MSP500S-DCRF-RE - это лабораторный магнетронный распылитель с двумя положениями мишени, разработанный нашей компанией. Оборудование для магнетронного напыляющего аппарата оснащено источником питания постоянного тока и радиочастотным источником питания, которые могут использоваться для получения однослойной электрической пленки из железа, токопроводящей пленки, пленки из сплавов, полупроводниковой пленки, керамической пленки, диэлектрической пленки, оптической пленки и т.д.
Особенности магнетронной напыляющей машины
- По сравнению с обычным плазменным напылением, магнетронное напыление обладает преимуществами высокой энергии и скорости, высокой скорости нанесения покрытия, низкого повышения температуры образца и является типичным высокоскоростным низкотемпературным напылением.
- Мишень для магнетронного напыления оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Машина с водяным охлаждением позволяет эффективно отводить тепло и избегать накопления тепла на поверхности мишени, благодаря чему магнетронная установка для распыления может стабильно работать в течение длительного времени.
- Устройство для отбора проб имеет возвратно-поступательную конструкцию, а левая сторона оснащена толкателем с магнитной муфтой, который может толкать устройство для отбора проб влево и вправо.
- Вся машина оснащена сенсорным управлением, встроенной программой нанесения одной кнопкой, проста в эксплуатации. Это идеальное оборудование для лабораторной подготовки пленок
Технические параметры
|
Модель |
CY-MSP500S-DCRF-RE |
|
|
Входные данные |
AC220V, 50 Гц |
|
|
Общая мощность |
6 кВт |
|
|
Максимальная степень вакуума |
5x10-4Pa |
|
|
Параметры таблицы образцов |
Размер |
100 мм x 100 мм |
|
Возвратно-поступательный ход |
200 мм |
|
|
Параметры магнетронной распылительной головки |
Количество |
2 комплекта, 2 дюйма |
|
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение, требуемая скорость потока 10л/мин |
|
|
Охладитель воды |
Охлаждение циркулирующей водой 10Л/мин |
|
|
Вакуумная камера |
Размер |
φ500mm x 490mm H |
|
Материал |
Нержавеющая сталь |
|
|
Окно для просмотра |
φ100mm |
|
|
Открытый режим |
передняя открывающаяся дверца |
|
|
Регулятор расхода газа |
1 канал 200sccm Ar; |
|
|
Вакуумный насос |
Молекулярная насосная система перекачивает 600Л /С |
|
|
Толщиномер пленки |
Кварцевый вибрационный толщиномер пленки, один комплект, разрешение 0.10 Å |
|
|
Источник питания распылителя |
Источник питания постоянного тока: один комплект, 500 Вт, для получения металлических пленок Источник радиочастотного питания: один комплект, 500 Вт, для неметаллического покрытия |
|
|
Режим работы |
Компьютерное управление "все в одном" |
|
|
Габаритные размеры |
1090 мм x 900 мм x 1250 мм |
|
|
Общий вес |
350 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP500S-DCRF-RE |
По запросу |
JoomShopping Download & Support