Двухцелевая машина для нанесения покрытий с верхним напылением на постоянном токе с радиочастотным магнетронным напылением

CY-MSP500S-DCRF-B - это специальная лабораторная лакировочная машина с двумя мишенями, разработанная нашей компанией. эта машина для нанесения покрытия магнетронным напылением оснащена источником питания постоянного тока и радиочастотным источником питания. Его можно использовать для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.

Технические характеристики

CY-MSP500S-DCRF-B - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытия с двумя мишенями, разработанная нашей компанией. это машина для нанесения покрытия магнетронным распылением машина оборудован источник питания постоянного тока и питания РФ. это магнетронного распыления для нанесения покрытий машина может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.

Особенности машины для нанесения покрытий с магнетронным напылением

1. По сравнению с обычным плазменным напылением, магнетронное напыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца;
2. Магнетронная мишень оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и избегать накопления тепла на поверхности мишени, так что магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени;
3. В этой модели используется схема расположения под мишенью, стол для образцов находится сверху, а высота с поверхностью мишени может быть точно отрегулирована программой, ее можно поворачивать и нагревать с отличной производительностью.

Технические параметры