Устройство для нанесения покрытия магнетронным распылением с одной мишенью и наклоняемой ступенью для отбора образцов

Это оборудование представляет собой устройство для нанесения покрытия магнетронным распылением с одной мишенью и наклоняемой подставкой для образцов. Угол между образцом и поверхностью мишени регулируется, и его можно использовать для изготовления пленок с определенными углами роста. Внешний вид оборудования соответствует уровню настольного компьютера, что значительно снижает требования к месту установки.

Технические характеристики

Данное оборудование представляет собой установку для одноцелевого магнетронного распыления с наклоняемой пробоотборной площадкой. Угол между пробоотборной площадкой и поверхностью мишени регулируется, и установка для магнетронного распыления может использоваться для изготовления пленок с определенными углами роста. Внешний вид оборудования соответствует уровню рабочего стола, что значительно снижает требования к месту установки. Оборудование оснащено источником питания постоянного тока, который может использоваться для напыления металла и других токопроводящих материалов. Вакуумная система оборудования использует турбомолекулярную насосную группу, которая отличается высокой скоростью откачки, высокой степенью предельного разрежения и превосходными вакуумными характеристиками. Это оборудование имеет компактную конструкцию и совершенные функции, простое в использовании и очень подходит для различных испытаний покрытий.

Технические параметры