Этот тип небольшой машины для нанесения покрытий плазменным напылением использует двухступенчатый метод распыления, который широко используется для подготовки образцов СЭМ или эксперимента по нанесению металлических покрытий. При использовании процесса низкотемпературного плазменного напыления в процессе нанесения покрытия отсутствует высокая температура, и термические повреждения получить нелегко.
Технические характеристики
Этот тип небольшой машины для нанесения плазменного напыления использует двухступенчатый метод распыления, который широко используется для подготовки образцов SEM или экспериментов с нанесением металлических покрытий. При использовании процесса низкотемпературного плазменного напыления в процессе нанесения покрытия отсутствует высокая температура, и вызвать термические повреждения непросто. В этом небольшом устройстве для нанесения плазменного напыления используется система управления PLC, все операции с сенсорным экраном, проста в освоении и использовании. В этом небольшом приборе для плазменного напыления используется система управления PLC, все операции с сенсорным экраном, проста в освоении и использовании. Оборудование небольшого размера и красивого внешнего вида, что делает его лучшим выбором для лабораторных экспериментов с нанесением покрытий.
Технические параметры
|
Стадия отбора проб |
Размер |
100 мм |
|
Расстояние от площадки для отбора образцов до поверхности мишени |
регулируется по высоте от 20 до 35 мм |
|
|
Источник плазменного напыления |
Количество |
2 дюйма x 3 |
|
Способ охлаждения |
Естественное охлаждение |
|
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
φ180 мм x 210 мм |
|
Обзорное окно |
Всенаправленная видимость |
|
|
Материал камеры |
Кварц высокой чистоты |
|
|
Открытый метод |
Верхняя крышка снимается |
|
|
Материал верхнего и нижнего покрытия |
Нержавеющая сталь 304 |
|
|
Насосное отверстие |
KF16 |
|
|
Впускное отверстие |
Соединительный наконечник 1/4 дюйма |
|
|
Конфигурация мощности |
Количество |
Источник питания постоянного тока1 |
|
Выходная мощность |
Макс. 150 Вт |
|
|
Мощность распыления |
1200В |
|
|
Максимальный ток распыления |
50 мА |
|
|
Вакуумная система |
Тип вакуумного насоса |
Двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос |
|
Насосное отверстие |
KF16 |
|
|
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
|
|
Скорость откачки |
1,1 л/с(4м3/ч) |
|
|
Максимальный вакуум |
≥0,1 Па |
|
|
Измерение вакуума |
Вакуумметр сопротивления |
|
|
Прочее |
Источник питания |
Переменный ТОК 220 В 50 Гц |
|
Общая мощность |
1,5 кВт |
|
|
Размеры |
500 мм x 320 мм x 470 мм |
|
|
Вес |
30 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Three target plasma sputtering coater
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support