Устройство для нанесения покрытия магнетронным распылением с одной мишенью оснащено мишенью для магнетронного распыления с промежуточным слоем с водяным охлаждением, нагреваемой вращающейся ступенью диаметром 140 мм и источником питания постоянного тока. В вакуумной камере используется метод открывания сверху, что облегчает смену мишени. Это идеальное устройство для изготовления различных металлических пленок.
Технические характеристики
Устройство для нанесения одноцелевого магнетронного напыления CYKY-300-1HD - это оборудование для нанесения высоковакуумных покрытий, независимо разработанное нашей компанией. Его можно использовать для получения однослойной или многослойной сегнетоэлектрической пленки, проводящей пленки, пленки из сплава, полупроводниковой пленки и так далее. Прибор оснащен мишенью для магнетронного напыления с промежуточным слоем с водяным охлаждением и 140-миллиметровой нагреваемой ступенью для вращающихся объектов. В вакуумной камере используется метод верхнего открывания, что облегчает смену мишени, и это идеальное устройство для изготовления различных металлических пленок. Это идеальное оборудование для приготовления пленок из различных материалов в лаборатории.
Технические параметры
|
Название продукта |
Устройство для нанесения магнетронного напыления с одной целью |
||
|
Модель продукта |
CYKY-300-1HD |
||
|
Условия установки |
Данное оборудование необходимо для использования на высоте 1000 м или менее, при температуре 25 ℃ ± 15 ℃ и влажности 55% Rh ± 10% Rh. 1. Вода: Оборудование оснащено самоциркулирующим охладителем (для наполнения чистой или деионизированной водой). 2. Электричество: 220 В Переменного тока частотой 50 Гц, должно иметь хорошее заземление. 3. Газ. Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном (чистотой 99,99% или более). Автономный газовый баллон с аргоном (с двойным наконечником Ø6 мм) и редукционным клапаном 4. Верстак: размер 650 мм × 600 мм × 700 мм, грузоподъемность более 200 кг 5. Вентиляционное устройство: необходимо |
||
|
Основные характеристики |
1. Настройте устройство для нанесения напыления с одной мишенью и соответствующий источник питания постоянного тока для нанесения напыления на токопроводящие материалы. 2. Оно позволяет получать различные пленки и имеет широкий спектр применения. 3. Оно имеет небольшие размеры и простое в эксплуатации. |
||
|
Технические параметры |
1. напряжение питания: 220 В 50 Гц 2. номинальная мощность: 1200 Вт (без учета вакуумного насоса) 3. Степень рабочего вакуума: 10-4Па 4. Рабочая температура: RT-500℃, точность ± 1(вы можете увеличить температуру в соответствии с фактическими потребностями),, 5. количество мишеневых пистолетов: 1 6. метод охлаждения пистолета-мишени: водяное охлаждение 7. Размер мишени: Ø2 ’, толщина 0,1-5 мм (разная толщина в зависимости от материала мишени) 8. Мощность распыления постоянным током: 500 Вт (опция) 9. Мощность радиочастотного напыления: 300 Вт / 500 Вт (опция) 10. загрузочный стол для образцов: Ø140 мм 11. скорость стола для отбора проб: регулируется в пределах 1-20 об/мин 12. Защитный газ: инертные газы, такие как Ar и N2 13. Канал всасывания газа: массовый расходомер контролирует 2 канала всасываемого воздуха, расход составляет 200 куб. см |
||
|
Технические характеристики продукта |
Размер основного блока: 500 мм × 560 мм × 660 мм, размер всей машины: 1300 мм × 660 мм × 1200 мм; вес: 160 кг |
||
|
Стандартные принадлежности |
1 |
Система управления мощностью постоянного тока |
1 |
|
2 |
Система контроля толщины пленки |
1 |
|
|
3 |
Молекулярный насос |
1 |
|
|
4 |
Охладитель |
1 |
|
|
5 |
Труба для охлаждающей воды (Ø6 мм) |
4 |
|
|
Дополнительные принадлежности |
Различные мишени, такие как золото, индий, серебро и платина |
||
|
Послепродажное обслуживание |
После доставки товара CYKY предоставляет один год бесплатного послепродажного обслуживания. Способ обслуживания ограничен удаленной технической поддержкой, такой как руководство по телефону, видеоинструкция, почтовая рассылка и отправка аксессуаров. Если заказчику необходимо направить кого-либо для оказания услуг "от двери до двери", заказчик оплачивает командировочные расходы и заработную плату обслуживающего персонала во время деловой поездки. |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CYKY-300-1HD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support