Трубчатая печь PE-Poly

Применение

Осаждение туннельного оксидного слоя, i-Poly и D-poly для солнечных элементов TOPCon.

Технические характеристики

• Туннелирование через оксидный слой, i-poly и D-poly выполнены в одной трубе, что сокращает этапы процесса, эффективно повышает выход годной продукции и снижает уровень бракованных изделий.
• Без эффектов горячих стенок, поэтому кварцевая трубка имеет длительный срок службы.
• Обмотка незначительная и легко снимается.
• Точное легирование; Возможность внедрения других легирующих элементов, повышающих эффективность, пригодных для расширения технологического процесса и больших возможностей для повышения эффективности.
• Запатентованная технология защиты от проводимости.

Технические параметры