Данный продукт представляет собой систему двухзонной вращающейся трубчатой печи с плазменно-усиленным гибридным физико-химическим осаждением из паровой фазы (HPCVD) при температуре 1200 ℃. Оборудование включает в себя трубчатую печь с двойной зоной нагрева, набор источников испарения с вольфрамовой нитью, набор генераторов плазмы и набор систем массового расходомера.
Технические характеристики
Данный продукт представляет собой систему двухзонной вращающейся трубчатой печи с плазменно-усиленным гибридным физико-химическим осаждением из паровой фазы (HPCVD) при температуре 1200 ℃. Оборудование включает в себя трубчатую печь с двойной зоной нагрева, набор источников испарения с вольфрамовой нитью, набор генераторов плазмы и набор систем массового расходомера. Принцип ее работы заключается в испарении реагента на входе газа через источник испарения и загрузке его в зону нагрева трубчатой печи воздушным потоком для проведения реакции CVD. В то же время плазменное осаждение ускоряет реакцию. Она подходит для термообработки порошка неорганического композита и придания однородности покрытия поверхности (например, для получения порошков с катодом литий-ионных аккумуляторов с токопроводящими покрытиями на поверхности образца).
Технические параметры
|
Трубчатая печь с двумя зонами нагрева |
Модель продукта |
CY-O1200-50IIT |
|
|
Материал трубчатой печи |
Кварц высокой чистоты |
||
|
Диаметр трубы |
50 мм |
||
|
Длина трубчатой печи |
1200 мм |
||
|
Длина камеры печи |
440 мм |
||
|
Длина зоны нагрева |
200 мм + 200 мм |
||
|
Рабочая температура |
0～1100℃ |
||
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
||
|
Режим контроля температуры |
30- или 50-сегментный программный контроль температуры |
||
|
Режим отображения |
HD полноцветный сенсорный ЖК-экран |
||
|
Способ герметизации |
вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц 2,5 кВт |
||
|
Система радиочастотного вывода |
Диапазон мощности |
Регулируемая мощность 0 ~ 500 Вт |
|
|
рабочая частота |
13,56 МГц + 0,005% |
||
|
Режим работы |
Непрерывная производительность |
||
|
Режим согласованного импеданса |
Ее можно подобрать, и свечение равномерно распределяется по всей трубе печи |
||
|
Стабильность мощности |
≤2 Вт |
||
|
Нормальная рабочая отраженная мощность |
≤3 Вт |
||
|
Усиленная отраженная мощность |
≤70 Вт |
||
|
Гармонический компонент |
≤-50dBc |
||
|
Общая эффективность |
≥70% |
||
|
Коэффициент мощности |
≥90% |
||
|
Напряжение питания / частота |
Однофазный переменный ток (187 В ~ 153 В) частотой 50/60 Гц |
||
|
Режим управления |
Внутренний контроль /аналоговое количество ПЛК / Связь RS232 / 485 |
||
|
Настройки защиты питания |
Защита от перегрузки по постоянному току, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженной мощности |
||
|
Способ охлаждения |
Принудительное воздушное охлаждение |
||
|
Зона накаливания |
При Ar радиочастотный источник питания и змеевик взаимодействуют со свечением, заполняя трубу печи |
||
|
Испарительная лодка |
Рабочая температура |
1300℃ |
|
|
Источник испарения |
Корзина из вольфрамовой проволоки, дополнительный конический тигель из оксида алюминия |
||
|
Термопара |
Термопара типа S |
||
|
Рабочий ток |
≤30A |
||
|
Макс. мощность |
500 Вт |
||
|
Система подачи газа |
Расходомер |
Четырехканальный массовый расходомер |
|
|
Диапазон расхода |
Диапазон MFC1: 0 ~ 200 см, Диапазон MFC2: 0 ~ 200 см Диапазон MFC3: 0 ~ 500 см, Диапазон MFC4: 0 ~ 500 см Соответствует газам H2, CH4, N2, Ar. |
||
|
Точность измерений |
±1,5% F.S |
||
|
Повторяемость |
±0,2%FS |
||
|
Линейная точность |
±1%F.S. |
||
|
Время отклика |
≤4s |
||
|
Рабочее давление |
-0,15 МПа ~ 0,15 МПа |
||
|
Управление потоком |
Управление с сенсорным ЖК-экраном, цифровой дисплей, каждый канал подачи газа содержит игольчатый клапан для индивидуального управления. |
||
|
Входной интерфейс |
Может быть соединена с трубой из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/4 дюйма или 6 мм |
||
|
Выходной интерфейс |
Может быть соединена с трубой из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/4 дюйма или 6 мм |
||
|
Способ подключения |
Соединитель с двойным наконечником |
||
|
Рабочая температура |
5~45℃ |
||
|
Газовый премикс |
Оснащена устройством предварительного смешивания газа |
||
|
Выхлопная система |
Модель продукта |
CY-GZK103-A |
|
|
Молекулярный насос |
Турбомолекулярный насос |
||
|
Подпорный насос |
Двухступенчатый роторно-лопастной насос |
||
|
Скорость откачки |
Молекулярный насос: 600Л/с |
Производительность откачки: 30 минут, может достигать вакуума: 5 × 10E-3Pa |
|
|
Роторно-лопастной насос: 1,1 л /с |
|||
|
Максимальный вакуум |
5 × 10E-4Pa |
||
|
Насосный порт |
KF40 |
||
|
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
||
|
Измерение вакуума |
Составной вакуумметр |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1200-50IIT |
По запросу |
JoomShopping Download & Support