Эта машина используется не только в процессе непрерывной термической обработки катанки, такой как получение углеродного волокна, модификация катанки из сплавов и других материалов, но также используется для непрерывного выращивания графена на катушке.
Технические характеристики
Прибор представляет собой устройство для химического осаждения из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD), оснащенное системой перемещения от рулона к рулону. Она используется не только в процессе непрерывной термической обработки катанки, такой как получение углеродного волокна, модификация катанки из сплавов и других материалов, но также используется для непрерывного выращивания графена на катушке.
Оборудование состоит из пяти частей: системы перемещения от рулона к рулону, двухзонной открытой трубчатой печи с температурой нагрева 1200 ℃, системы улучшения ПЭ-плазмы, вакуумной системы и трехканальной системы смешивания газов с массовым расходомером. Вся машина может работать в условиях защиты от вакуума / атмосферы.
Скорость намоточного устройства можно регулировать от 1 до 400 мм / мин, а механизм использует регулировку с обратной связью, которая может автоматически корректировать отклонение скорости и обеспечивать стабильность скорости образца, обеспечивая тем самым точность эксперимента.
Технические параметры
|
Двухзонная трубчатая печь с температурой нагрева 1200 ℃ |
Напряжение |
220 В переменного тока, 50 Гц |
|
Максимальная мощность |
3 кВт |
|
|
Зона нагрева |
Двойные зоны 200 мм + 200 мм |
|
|
Рабочая температура |
≤1200℃ |
|
|
Точность измерения температуры |
±1℃ |
|
|
Метод контроля температуры |
30-ступенчатая технологическая кривая AI-PID, может хранить несколько |
|
|
Материал трубы |
Кварц высокой чистоты |
|
|
Размер трубы |
φ80mm I.D x 1400mm L |
|
|
Режим герметизации |
Вакуумный фланец из нержавеющей стали |
|
|
Измерение вакуума |
Датчик сопротивления |
|
|
Рабочий газ |
Неагрессивные газы, такие как водород, азот, аргон и кислород |
|
|
Вакуумный насос |
Двухполярный роторно-лопастной вакуумный насос |
|
|
Максимальный вакуум |
10 ^-1Pa |
|
|
Трехканальный массовый расходомер |
Тип клапана |
Игольчатый клапан из нержавеющей стали |
|
Газовые каналы |
Трехсторонняя |
|
|
Диапазон давлений |
0,05 ~ 0,3 МПа |
|
|
Ассортимент |
0 ~ 100 мкм (Ar) 0 ~ 200 МКСМ (H2) 0 ~ 500 МКСМ (CH4) |
|
|
Диапазон регулирования расхода |
±1.5% |
|
|
Объем смесительного бака |
750 мл |
|
|
Материал газового тракта |
нержавеющая сталь 304 |
|
|
Интерфейс трубы |
соединение типа "укус" 6,35 мм |
|
|
Источник питания |
220 В Переменного тока 50 Гц |
|
|
Радиочастотная мощность |
Выходная мощность |
500 Вт |
|
Точность производства |
±1% |
|
|
Радиочастотная частота |
13.56 МГц |
|
|
Радиочастотная стабильность |
±0.005% |
|
|
Способ охлаждения |
Водяное охлаждение |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
PECVD tube furnace with roll to roll system |
По запросу |
JoomShopping Download & Support