12-дюймовое, 8-дюймовое оборудование PECVD PF-300T, PF-200T

Технические характеристики

PF-300T — это серия продуктов, разработанная и разработанная компанией самостоятельно. Оборудование использовалось при производстве интегральных схем размером 28 нанометров и выше и может осуществлять осаждение всех соответствующих диэлектрических пленок. В то же время она была расширена до передовых пленочных технологий. Продукция включает в себя твердые маски ACHM с высокой селективностью травления, изолирующие пленки с низкой диэлектрической постоянной и барьерные слои для травления ADC I, а также пленки Lok II со сверхнизкой диэлектрической постоянной, по потребности клиентов. Различные требования к техническим узлам.

• Может быть сконфигурирован с 1-3 источниками жидкости по выбору клиента для реализации различных передовых процессов
• Имеет отличную производственную мощность и CoO
• Может быть совместим с 8-дюймовыми переключателями (PF-200T)
• Имеет требуемую низкую температуру TSV (<200 ℃) Процесс TEOS SiO2
• Прошел сертификацию безопасности S2 и стандартную проверку F47