12-дюймовое, 8-дюймовое оборудование SACVD PF-300T SAF, PF-200T SA

Технические характеристики

Серия SACVD представляет собой оборудование для химического осаждения из паровой фазы при давлении ниже атмосферного (SACVD), независимо разработанное нашей компанией. Камера процесса SACVD установлена ​​на высокопроизводительной платформе PECVD, которая была проверена на линиях массового производства. Этот продукт SACVD в основном используется в STI, PMD / ILD и т.д. для удовлетворения потребностей в заполнении зазоров в структурах с относительно высокими соотношениями сторон.

• Может быть сконфигурирован с 1-3 рабочими камерами.
• 1-3 источника жидкости могут быть сконфигурированы в зависимости от потребностей клиентов для реализации различных передовых процессов.
• Высококачественные пленки TEOS SiO₂ и BPSG.
• Совместим с 8-дюймовым (PF-200T SA) с комплектами для переоборудования.
• Прошел сертификацию безопасности S2 и стандартную проверку F47.