Технические характеристики
Серия NF-300H Astra представляет собой оборудование для атомно-слоевого осаждения (атомно-слойное осаждение), независимо разработанное нашей компанией. Оно может быть оснащено тремя реакционными камерами с 6 станциями. Его реакционная камера ALD установлена на высокопроизводительной платформе PECVD, отвечает требованиям производительности оборудования. Теперь доступны высококачественные пленки PEALD SiO2, SiN и т.д.
- Степень покрытия ступени пленкой ALD может достигать 95% в условиях большого соотношения ширины.
- Отличные производственные затраты (CoO) и показатели производительности.
- Обладает хорошей однородностью и сохранением формы
- Может выдерживать 1-3 PM, каждый PM может быть сконфигурирован с 6 станциями
- Платформа высокой производительности
- Прошел сертификацию безопасности S2 и стандартную проверку F47
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
NF-300H Astra. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support