12-дюймовое тепловое оборудование ALD Название продукта: PF-300T Altair

Технические характеристики

Серия PF-300T Altair представляет собой оборудование для термического атомно-слоевого осаждения (термическое атомно-слоевое осаждение), независимо разработанное нашей компанией. Оно основано на базовой технологии высокопроизводительного оборудования PEALD и оптимизирует конструкцию модуля реакционной камеры и ключевых компонентов, в соответствии с особенностями соответствующего осаждения тонких пленок, обеспечивая осаждение более дешевых пленок более высокой чистоты.

• Идеальная система термического атомно-слоевого осаждения.
• Более быстрые импульсы и продувки для достижения более высокой производительности.
• Точный контроль дозировки химического источника для достижения долгосрочной стабильности процесса.
• Уникальная конструкция контроля температуры для получения пленок более высокой чистоты.
• Простота обслуживания, длительный срок службы расходных материалов детали, низкая стоимость очистки.