12-дюймовая окислительная печь LPCVD (производственный тип)

Технические характеристики

Производительность продукта:

• Вертикальная структура, высокоэффективная производственная мощность, 100–125 штук в партии.
• Стабильная и отличная однородность формирования пленки и хорошая повторяемость.
• Высокоточная и надежная система автоматического контроля давления.
• Передовые технологии контроля гипоксии в микросреде.
• Контроль размера частиц кремниевых пластин стабилен и соответствует международным стандартам.
• Полностью автоматический процесс, стыковка AGV/ OTH
• Высокая степень интеграции, полная стыковка с заводской системой MES
• Соответствует SECSⅡ/ HSMS/ GEM и другим стандартам.

 Сопровождающие технологии:

• Окисление (сухой и влажный кислород), отжиг (N2, H2, быстрый отжиг)
• Поликристаллический кремний P-Si, нитрид кремния Si3N4, оксид кремния SiO2.
• Фосфорсиликатное стекло PSG, борофосфорсиликатное стекло BPSG
• TEOS, LTO, HTO, SIPOS...