Диффузионная печь фосфора низкого давления

Диффузионная печь низкого давления для фосфора является одним из основных продуктов компании   Она высоко ценится за надежное качество, стабильную работу и разумную цену. Производитель поставляет его в полном объеме. Пожалуйста, ознакомьтесь с подробной информацией здесь. Для покупки, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Технические характеристики

Технические характеристики оборудования:

• Длина зоны постоянной температуры: 2800 мм.
• Количество температурных зон: 6 температурных зон.
• Максимальная температура: 1050℃.
• Однородность температуры: 800℃~1050℃±0,5℃.
• Метод загрузки пластины: мягкая посадка.
• Максимальная нагрузка на весло: 70 кг.
• Материал технологической камеры и лодочки: кварцевая трубка.

Основные особенности:

• Производственная мощность: 1400~1680 шт./туба.
• Количество трубок: 6 трубок.
• Контроль давления: метод управления APC.
• Системное управление: промышленный компьютер ПЛК и ПК.
• Связь: Melsec, MES, ввод-вывод, SECS-II и т. д.
• Интеграция автоматизации: полностью автоматизированное решение для оптимизации клиентов и интеграции управления MES.

Технические характеристики процесса:

• Значение квадратного сопротивления: 50~350 Ом/смсм
• Предельный вакуум: ≤20 мбар.
• Однородность квадратного сопротивления: <5% (внутри чипа/между чипом/между партиями)

Преимущества:

• Быстрая сертификация процесса может значительно улучшить производство.
• APC может хорошо контролировать давление в технологической трубе во время процесса.
• Мягкая посадка с квадратной вставкой, хорошая однородность, зрелое и стабильное техническое решение.
• Увеличенное время безотказной работы и снижение затрат, хорошая техническая поддержка и обслуживание, обеспечивающие долгосрочную стабильную эксплуатацию оборудования.