Диффузионная система HORIS D12

Диффузионная система HORIS D12 в основном используется в таких процессах, как легирование бором/фосфором, окисление и отжиг при производстве кристаллических кремниевых элементов. Оборудование представляет собой многотрубное горизонтальное печное оборудование и в основном состоит из стола очистки и печи. шасси и шкаф источника газа, автоматизированный манипулятор встроен в стол очистки для реализации автоматического управления процессом.

Технические характеристики

• Оснащенный автоматической системой загрузки и выгрузки, он может быть подключен к машинам для производства перевернутой пленки различных производителей и обладает развитым интерфейсом MES.
• Высокоточный контроль температуры, контроль давления в исходном баллоне, оперативная регулировка процесса.
• Превосходная согласованность и стабильность результатов процесса.
• Термостойкое уплотнение, фильтрация большого объема, автоматический сбор жидких отходов, функция многократного предупреждения, высокий уровень технического обслуживания и безопасности.
• Система 3C может отслеживать и анализировать данные для всех машин в рамках одного и того же процесса.

Применимый размер кремниевой пластины: 156 мм~230 мм.

Грузоподъемность: 1600~2880 штук/трубка.

Количество автономных трубок: 4, 5, 6, 10, 12 трубок/система.

Диапазон температур: 600~1100℃.

Диапазон регулировки давления: плавная регулировка давления 35 мбар-АТМ.

Тип процесса: диффузия фосфора/бора при низком давлении, отжиг/окисление при нормальном/низком давлении, отжиг/окисление при атмосферном давлении, высокочастотный отжиг.

Применимая область применения: новая фотоэлектрическая энергия.