Диффузионная печь типа M5111-4WK/UM

Категория: диффузионная печь.

Технические характеристики

　Диффузионная печь типа M5111-4WK/UM является ключевым электронным специальным оборудованием в интегральных схемах, микроэлектронике, солнечных элементах из кристаллического кремния, силовой электронике и других отраслях промышленности. Она в основном используется для полупроводниковых процессов, таких как легирование, окисление, легирование и отжиг. Поверхность кремниевых пластин, ее производительность и технические показатели достигли международного уровня передовых технологий.

Основные параметры.

1. Производственная мощность.

• Размер пластины: пластина 125×125 мм, пластина 156×156 мм;
• Выход: 400 шт./партия (односторонний процесс);
• Тип процесса: процесс диффузии источника жидкого фосфора;

2. Система контроля температуры

• Эффективный внутренний диаметр печи: Ф350мм (наружный диаметр кварцевой трубки Ф330мм);
• Диапазон контроля температуры: 400 ~ 1100 ℃;
• Длина и точность зоны постоянной температуры: ≤±0,5℃/1080 мм (801～1100℃), ≤±1℃/1080 мм (400～800℃);
• Стабильность температуры в одной точке: ≤±0,5 ℃/4 часа (при 900 ℃);
• Точность контроля температуры источника жидкости: 20 ℃ ± 0,5 ℃;
• Скорость нагрева и охлаждения печи: максимальная скорость нагрева: 25 ℃/мин, максимальная скорость охлаждения: 5 ℃/мин;
• Метод регулирования температуры: пятиступенчатый двухконтурный каскадный контроль температуры;

3. Пневматическая система

• Метод управления потоком: поток большого количества азота, небольшого количества азота и кислорода контролируется массовым расходомером, а защитный газ контролируется поплавковым расходомером;
• Точность регулирования расхода технологического газа: ±0,5% полной шкалы;

4. Механизм подачи

• Автоматический механизм загрузки и разгрузки:
• Скорость портального механизма: 50 мм/мин ~ 5000 мм/мин (плавно регулируемая);
• Скорость вторичного горизонтального механизма: 20 мм/мин ~ 2000 мм/мин (плавно регулируемая);
• Точность позиционирования: ≤±1 мм;
• Биты кэша: 2;
• Механизм доставки мягкой десантной лодки:
• Скорость горизонтального продвижения лодки: 50–800 мм/мин (плавно регулируемая);
• Точность позиционирования: ≤±1 мм;
• Скорость вертикального подъема: 8 мм/мин~12 мм/мин;
• Максимальный вес несущей поверхности пропеллера SiC: 15 кг;

5. Система управления

• Функция автоматического контроля температуры: с автоматическим повышением и понижением температуры наклона и функциями постоянной температуры;
• Функция защиты от сигнализации: имеет функции сигнализации и защиты, такие как перегрев, выход из строя пары, короткое замыкание, отклонение потока газа и т.д.;
• Метод управления процессом: процесс полностью автоматически контролируется промышленным управляющим компьютером и управляется непосредственно с сенсорного экрана;
• Может хранить более 100 технологических кривых, каждая технологическая кривая имеет не менее 30 точек перегиба;

6.Другие технические параметры

• Уровень очистки рабочего места очистки: уровень 1000 (уровень окружающей среды 10000);
• Метод изоляции устья печи: завеса из чистого воздуха;
• Пиковая мощность оборудования: ≤200 кВА (4 трубки), мощность изоляции около 100 кВА (4 трубки).

Ключевая особенность.

1.Эффективность процесса.

      Диффузионные печи этой серии успешно используются на большой площади, состоящей из почти 500 трубок, в линии по производству фотоэлектрических элементов, обеспечивая стабильную и надежную производительность процесса и хорошую однородность процесса.

2.Контроль температуры.

      Использует независимые исследования и разработки, проектирование и производство корпуса высокотемпературной печи сверхбольшого калибра со сверхдлинной температурной зоной; пятиступенчатую двухконтурную систему контроля температуры с точностью контроля температуры 0,1 ℃.

3.Система контроля давления.

      Компания первой в Китае внедрила параметры давления в процесс диффузии/окисления солнечных элементов из кристаллического кремния, что эффективно снижает влияние выхлопных газов на технологический процесс и уменьшает колебания процесса, вызванные выхлопными газами.

4.Автоматическая система загрузки и разгрузки.

      Улучшите автоматизацию оборудования, снизьте трудоемкость и уменьшите загрязнение окружающей среды.

5.Механизм подачи пленки с мягкой посадкой.

      В нем используется высокочистый, безмасляный горизонтальный передаточный механизм, высоконагруженный, высокостабильный и устойчивый подъемный механизм; консольная лопатка SiC больше не остается в реакционной камере во время процесса, что сокращает время восстановления температуры процесса, обеспечивает отсутствие необходимости в очистке лопатки SiC и продлевает срок службы консольной лопасти SiC.

6.Высокотемпературная герметичная дверца печи.

      Технология гибкого уплотнения обладает более высокими эксплуатационными характеристиками, при этом обеспечивается превосходная теплоизоляция, уменьшается утечка выхлопных газов и сокращается время восстановления рабочей температуры.