Диффузионная печь с закрытой трубой и мягкой посадкой

Диффузионная печь с закрытой трубкой мягкой посадки является одним из основных продуктов компании Она хорошо зарекомендовала себя благодаря надежному качеству, стабильной работе и разумной цене. Производитель поставляет ее в полном объеме. Пожалуйста, посетите наш сайт для получения подробной информации. Пожалуйста, свяжитесь с нами для приобретения.

Технические характеристики

Диффузионная система с мягкой посадкой с закрытой трубкой использует диффузию с закрытой трубкой. Суспензия карбида кремния помещает кварцевую лодочку в кварцевую трубку, а затем выходит из кварцевой трубки, гарантируя, что весь процесс полностью свободен от воздействия внешней среды и имеет отличные технологические характеристики.

Возможности системы управления:

• Устройство мягкой посадки оснащено сервоуправлением, обеспечивает стабильную и надежную работу, точное позиционирование и большую несущую способность.
• Давление внутри трубы регулируется по замкнутому контуру, и давление стабильно.
• Охлаждение и переработка отходящих технологических газов для обеспечения чистоты технологических трубопроводов.
• Высокоточная технология контроля температуры, система может автоматически выбирать температурную зону.
• Поддержка связи SECS/GEM

Основные технические индикаторы.

Ключевые технические параметры:

• Рабочая температура: 600–1286℃.
• Длина зоны постоянной температуры: 300~1500 мм.
• Точность температурной зоны: ±0,5℃.
• Максимальная контролируемая скорость нагрева: 15℃/мин.
• Максимальная контролируемая скорость охлаждения: 5℃/мин.
• Количество загрузки: 400 трубок (очень большая производственная мощность)

Индикаторы процесса изготовления пластин:

• Однородность внутри чипа: <2%
• Однородность от стружки к детали: <2%
• Однородность от партии к партии: <2%
• Доступны варианты с 2, 3 и 4 трубками; манипулятор автоматической загрузки доступен в качестве опции.
• Мощность оборудования, производительность и технологические показатели превосходят аналогичное импортное оборудование.