Технические характеристики
- Модель: серия WSHF-6 (R&D)
- Размер пластины: 150 мм (6 дюймов)
- Тип: Горизонтальная печь
- Компактная конструкция, очень малая занимаемая площадь
- Поддерживаемые пластины
малого размера - Контроллер STOS-H
Технические параметры
|
Описания |
Содержание |
Замечание |
|
Процесс подачи заявки |
Мокрое окисление / N2, O2, Ar отжиг |
|
|
Диапазон регулирования температуры |
200 ~ 1300 °C (нарастание 20 °C/мин) |
|
|
Зона контроля температуры |
3 зона |
|
|
Точность измерения температуры |
±0,5°С |
|
|
Однородность толщины пленки |
в пределах<2%, в воде<3%, От бега до бега <3% |
|
|
Возможные технологические газы |
N2, O2, Ar, H2O (управление MFC) |
|
|
Размер пластины |
100мм, 150мм, 200мм |
|
|
Размер партии |
25 / 50 вафель |
|
|
Автозагрузчик |
Серводвигатель |
|
|
Тип контроллера |
Управление ПЛК на базе ПК (ОС : Windows 10) |
|
|
Размеры (Ш*Г*В) |
800 * 2300 * 1500 |
|
|
Электропитание |
3 фазы, 380 В, 60 А (система будет модифицирована для питания конкретной страны) |
|
|
Охлаждающая вода |
10л/мин |
|
|
Сжатый сухой воздух |
Н/Д |
|
|
Отвод тепла |
150м3/ч |
|
|
Модель: |
Стоимость: |
|
Диффузионная печь для исследований и разработок (автоматический загрузчик) |
По запросу |
JoomShopping Download & Support