Технические характеристики
Технология дистанционной очистки ICP-RF: плазма более щадящая
- Ультратонкая углеродная пленка для очистки от углеводородных загрязнений
- Обработка плазмой образца ТЕМ/стержня образца
- Рекомендуемых способа очистки от загрязнений кремнием
SPC150 - плазменный очиститель высокого вакуума. Три МФУ с газовым трактом позволяют точно регулировать поток газа, а между источником ионов и отсеком для образцов имеется решетка, которая обеспечивает более мягкий эффект очистки, особенно подходящий для очистки образцов от углеводородных загрязнений и кремниевых загрязнений, таких как ультратонкие углеродные пленки.
SPC также может реализовать плазменную обработку стержня для отбора проб TEM на месте или микросхемы ячейки, а также функцию обнаружения вакуумной утечки стержня для отбора проб TEM на месте.
Технические параметры
|
Насосный агрегат |
Турбомолекулярный насос + безмасляный мембранный насос |
|
Входной фланец молекулярного насоса |
DN63ISO-K (стандарт) |
|
Скорость перекачки молекулярным насосом |
>85 л/с (N2) |
|
Насос предварительной ступени |
>0,7м3/ч |
|
Абсолютный вакуум |
<5E-4Pa |
|
Время запуска насосной установки |
≤300с |
|
Принадлежности для стержней для отбора проб TEM |
Опционально подходят стержни для отбора проб Thermo, JEOL, Hitachi; можно установить более 2 держателей TEM |
|
Размер камеры для отбора проб |
~160*100 мм, настройка прочности и слабости перегородки при плазменной обработке |
|
Источник плазменной очистки |
Принцип дистанционного источника радиочастоты RF, ручное согласование |
|
Мощность источника питания для очистки |
Радиочастотный источник питания 13,56 МГц, регулируемая мощность 5-50 Вт |
|
Контроль очищающего газа |
Стандартно оснащенный 3 каналами управления расходомером MFC, он может подключаться к внешним газам, таким как Ar, O 2 и H 2. |
|
Вакуумметр |
Импортный фирменный полноразмерный композитный датчик |
|
Способ работы |
Управление с сенсорного экрана, предварительно сохраненное меню процесса, система управления обеспечивает функцию защиты от блокировки |
|
Вес |
~30 кг |
|
Размер |
~ 500 мм в ширину * 466 мм в глубину * 390 мм в высоту |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SPC150 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support