Высокотемпературная беспыльная и бескислородная печь — HTCLO40

Технические характеристики

Функции:

Устройство циркуляции воздуха: встроенный кондиционер помещения, циркуляционный воздуховод и двигатель вентиляции. Оснащенный воздушным фильтром, он может фильтровать воздух в боксе для достижения уровня чистоты 100.

Размер чипа: совместим с 2–8-дюймовыми, круглыми и квадратными подложками и различными типами электронных компонентов.

Характеристики продукта.

1. Рабочая температура: RT~260℃, максимальная температура: 300℃; однородность температуры: ±5% (платформа 300℃).
2. Эффективный размер одной коробки: 450×650×450 мм (Ш×В×Г); Материал полости: зеркальная нержавеющая сталь SUS304.
3. Время нагрева пустой коробки: 5 градусов в минуту; время охлаждения пустой коробки: 300℃-90℃. Время охлаждения составляет около 1,5 часов (с использованием ребристого радиатора или газа).
4. Регистрация температуры и содержания кислорода: безбумажный регистратор.
5. Содержание кислорода (кислородный анализатор): Содержание кислорода в высокотемпературном состоянии: ≤20 ppm + содержание кислорода в источнике воздуха. Содержание кислорода в низкотемпературном состоянии: ≤50 ppm + содержание кислорода в источнике воздуха.
6. Управление: В полости можно независимо регулировать температуру, вентиляцию и аварийную защиту; выход воздуха: один.
7. Прибор контроля температуры: японский физико-химический терморегулятор FP23. Количество секций контроля температуры: 20×20. Количество точек контроля температуры.
8. Защита дверцы печи при высокой температуре: когда температура превышает 100℃, электронный замок автоматически блокируется, чтобы предотвратить открытие дверцы при высокой температуре.
9. Повышение температуры поверхности: <30℃. Мощность нагрева: 15 кВт;
10. Источник питания: мощность 80 кВА, 3-фазный, 5-проводной, 220/380 В переменного тока, 50 Гц; вес оборудования: около 1000 кг.

Промышленность.

Область применения

Широко используется в полупроводниках, современной упаковке, MEMS, оптических коммуникациях, научных исследованиях и других областях