QBT-J полностью автоматическая четырехкамерная система нанесения покрытия с двойным наклоном в сверхвысоком вакууме

Технические характеристики QBT-J (испарение с двойным углом наклона)

Камера сверхвысокого вакуума/ Камера UHV

4 камеры сверхвысокого давления, включая загрузочный шлюз/отжиг, ионное измельчение, испарение электронным лучом, окисление, максимальный вакуум, предельное давление <1E-9 Торр

Нагрев подложки/ Нагрев вафли

РТ-900°С

Ионно-лучевая очистка/ Ионное измельчение

Источник ионов Кауфмана, энергия ионов 100-600 эВ, 100-1200 эВ, ток ионного луча: 20-200 мА, однородность травления подложки Ф100 <±3%

Электроннолучевое испарение

UHV 5 Линейный карманный источник испарения Ebeam, источник питания 8 кВт

Окисление

Проточный и статический режимы окисления

Возможность работы с подложкой/ Наклон и вращение пластины

Может достигать наклона на 180 градусов и вращения на 360 градусов с точностью управления 0,1 градуса.

Вафельный трансфер

Высоконадежные и повторяемые возможности переноса подложек

Человеко-машинный интерфейс HMI

Полностью автоматизированный интерфейс человеко-машинного управления.

Безопасность

Защитная блокировка промышленного стандарта. Промышленная защитная блокировка, сигнализация, EMO

Модель

Стоимость, доллары США

QBT-J полностью автоматическая четырехкамерная система нанесения покрытия с двойным наклоном в сверхвысоком вакууме.

Цена по запросу.