QiJi Spinel 300A

Технические характеристики

QiJi Spinel300A — это оборудование для озоления фоторезиста, независимо спроектированное и разработанное Shanghai Bangxin для процесса 12-дюймовых интегральных схем: оно построено на многокамерной кластерной вакуумной транспортной платформе QiJi, независимо разработанной Bangxin, которая может обеспечивать последовательную или параллельную обработку; независимо разработанное устройство генерации плазмы высокой плотности обеспечивает достаточное количество активных реактивных групп для обеспечения высокой скорости озоления; уникальная конструкция поля газового потока и теплового поля обеспечивает равномерность озоления; операционная система на основе базы данных обеспечивает быстрый и стабильный промышленный контроль и высокоскоростную передачу данных; уникальный механизм подъема пластин для адаптации к большему количеству применений.

• Интегральная схема 90-14 нм
• Процесс озоления фоторезиста
• Удаление фоторезиста после имплантации ионов высокой энергии
• Предварительная обработка
• Удаление полимера