QBT-I двухкамерная высоковакуумная высокоскоростная система испарения

Технические характеристики QBT-I (приготовление индиевого удара и т. д.).

Камера сверхвысокого вакуума. Камера UHV

2 камеры высокого напряжения, ионно-лучевое травление и испарение Loadlock, предельный вакуум. Предельное давление <3E-8Torr.

Скорость выхлопа. Распространение накачки.

От банкомата до 8E-7Torr<15мин (блокировка нагрузки).

Высокая скорость депонирования.

5-12 нм/с (индий), однородность покрытия подложки Ф100 <±3%, тигель большой емкости.

Точный контроль охлаждения образца Wafer Cooling

-10-40°C (точность ±0,1)

Ионно-лучевая очистка. Ионное измельчение.

Источник ионов Кауфмана, однородность травления подложки Ф100 <±3%

Человеко-машинный интерфейс HMI.

Полностью автоматизированный интерфейс человеко-машинного управления.

Безопасность.

Защитная блокировка промышленного стандарта. Промышленная защитная блокировка, сигнализация, EMO

Модель

Стоимость, доллары США

QBT-I двухкамерная высоковакуумная высокоскоростная система испарения.

Цена по запросу.