Машины для нанесения покрытий, серия Endura5500 V1.0

Технические характеристики
Платформа Endura 5500 PVD, MOCVD
Введение
Платформа Endura 5500 представляет собой многополостную платформу оборудования AMAT, которая в основном состоит из загрузочной полости, буферной полости и полости переноса.Основная технологическая полость может использоваться для распыления различных металлов, таких как AlCu, Al, AlSiCu, Ti, TiN, W, Ag, Ni, Cr, Ta, Cu и т.д., А также может использоваться для процесса MOCVD. Платформа Endura 5500 отличается высокой степенью интеграции оборудования, стабильной и эффективной системой передачи, большой производительностью и уникальной конструкцией, позволяющей создавать высокий вакуум. В то же время оборудование оснащено мощной системой электроснабжения, которая позволяет проводить совместимые исследования и разработки различных процессов. Оборудование серии Endura 5500 имеет различные типы полостных конструкций, и соответствующая конфигурация может быть выбрана в соответствии с различными технологическими требованиями; рынок оборудования имеет большое количество владельцев, а каналы поставок запасных частей идеальны.

Область применения
6-дюймовая, 8-дюймовая традиционная линия по производству полупроводников на основе кремния

Обновленные области применения
Процесс получения 6-дюймового карбида кремния, нитрида галлия и арсенида галлия

Улучшенные преимущества продукта

• Дополнительная сенсорная панель управления с жидкокристаллическим дисплеем для обеспечения более удобной работы
• Дополнительная система с двумя жесткими дисками
• Можно настроить различные конфигурации резонаторов
• Модернизировать трансмиссию и комплект резонаторов в соответствии с технологией передачи и поддержки прозрачных листов и чешуек
• Предоставить множество новых технологических разработок и решений
• Технологические решения VOx можно настроить