Машины для дегуммирования серия Gasonics V1.0

Технические характеристики
Серия дегуммирования газоники (A1000, A2000, L3510, PEP3510)
Введение 
Оборудование серии Gasonics для дегуммирования, подходящее для процесса дегуммирования диаметром 4, 6 и 8 дюймов; Используется источник микроволнового питания, скорость дегуммирования высокая. Среди них A1000, A2000 и L3510 спроектированы с одной полостью, а PEP3510 спроектирован с двойной полостью. Оборудование занимает небольшое пространство и подходит для крупносерийного производства; в то же время интерфейс управления прост, техническое обслуживание удобно, коэффициент использования машины высок, а стоимость высока. Подходящую модель можно выбрать в соответствии с требованиями процесса и бюджетом.Его доля на рынке высока, а каналы сбыта запасных частей безупречны.

Область применения
Традиционные 4-дюймовые, 6-дюймовые и 8-дюймовые линии по производству полупроводников на основе кремния

Обновленные области применения
Процесс получения 4-дюймового и 6-дюймового карбида кремния, нитрида галлия и арсенида галлия

Улучшенные преимущества продукта

• Настраиваемый низкотемпературный раствор для дегуммирования
• Дополнительная модернизация системы трансмиссии по индивидуальному заказу для повышения стабильности работы машины
• Дополнительное решение для удаления стойкого клея с помощью 4-ходового технологического газа по индивидуальному заказу
• Модернизированный комплект трансмиссии и полостей для соответствия процессам передачи и поддержки прозрачных листов и хлопьев
• Разработка и решение множества новых технологических процессов