Диффузионная печь

Диффузионная печь является одним из основных продуктов компании   Благодаря надежному качеству, стабильной работе и разумной цене, она хорошо принята производителем. Для покупки, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Технические характеристики

Диффузионные печи используются в области полупроводниковых приборов, дискретных устройств, оптоэлектронных устройств, силовых электронных устройств, солнечных элементов и производства крупномасштабных интегральных схем для выполнения таких процессов, как диффузия, окисление, отжиг, легирование и спекание пластин. используется для технологических размеров 4-8 дюймов.

Возможности системы управления:

• Функция автоматического управления кривой процесса
• Может хранить несколько наборов PID-параметров для работы системы и вызова функций.
• Функция самодиагностики системных неисправностей
• Функция продолжения работы после отключения электроэнергии и т.п.
• Программная система с независимыми правами интеллектуальной собственности и хорошим человеко-машинным интерфейсом.
• С многоточечной температурной компенсацией
• Оснащен различными сигналами неисправности и различными функциями защиты от защитных блокировок.
• Поддержка связи SECS/GEM
• Система может увеличивать или уменьшать или развивать соответствующие функции в соответствии с особыми требованиями пользователей.

Основные технические индикаторы:

• Размер пластины: 4–8 дюймов.
• Количество технологических трубок: 1–4 трубки в комплекте.
• Диапазон рабочих температур: 400℃~1286℃.
• Длина зоны постоянной температуры: 300~1500 мм.
• Стабильность температуры в одной точке: +0,5℃/24 часа.
• Максимальная контролируемая скорость нагрева: 15℃/мин.
• Максимальная скорость охлаждения: 5℃/мин.
• Можно настроить нестандартные продукты для пользователей.