FLOURIS X201H 8-дюймовая вертикальная высокотемпературная печь для окисления

FLOURIS X201H в основном используется для 8-дюймовых процессов высокотемпературного окисления и отжига. Эта машина представляет собой оборудование для термической обработки периодического действия, в основном состоящее из технологической камеры, системы передачи, системы газораспределения, системы выхлопа и системы контроля температуры. Оно обладает характеристиками хорошей однородности кристалла, высокой степенью автоматизации и стабильной производительностью системы. может удовлетворить потребности крупномасштабных производственных линий интегральных схем, может реализовать процессы окисления с использованием сухого кислорода, влажного кислорода и хлора, а также процессы отжига, а также поддерживает процесс высокотемпературного окисления при 1200°C.

Технические характеристики

• Высокоточная технология контроля температурного поля, высокотемпературный процесс окисления при температуре 1200℃.
• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Графический интерфейс пользователя и система управления группами.
• Превосходная способность контролировать равномерность толщины пленки.

Размер пластины: 8 дюймов.

Применимые материалы: кремний, карбид кремния.

Применимый процесс: окисление при высоких/средних температурах, отжиг.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, составной полупроводник, материал подложки.