FLOURIS A201 8-дюймовая вертикальная низкотемпературная печь для отжига

FLOURIS A201 в основном используется для 8-дюймовых низкотемпературных процессов легирования и отжига. Оборудование обладает характеристиками высокой степени автоматизации и стабильной производительностью системы, а также может достигать быстрого повышения температуры и охлаждения. Он в основном состоит из технологической камеры, системы передачи, системы быстрого охлаждения, системы очистки выхлопных газов и системы контроля температуры. Он может реализовывать такие процессы, как отжиг и легирование меди, а микроокружение может контролировать низкое содержание кислорода.

Технические характеристики

• Хорошая возможность расширения диапазона рабочих температур.
• Превосходная эффективность восстановления температуры.
• Хорошая стабильность регулирования низких температур.
• Хорошая ремонтопригодность системы.

Размер пластины: 8 дюймов.

Применимые материалы: кремний, карбид кремния.

Применимый процесс: азотный отжиг, сплав.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, составной полупроводник, микродисплей на основе кремния.