FLOURIS X201P 8-дюймовая вертикальная среднетемпературная печь для окисления

FLOURIS X201P в основном используется для 8-дюймовых среднетемпературных процессов окисления и отжига. Оборудование представляет собой оборудование для термической обработки периодического действия, состоящее из технологической камеры, системы передачи, системы газораспределения и системы контроля температуры. Оно обладает характеристиками хорошей однородности внутри стружки, высокой степени автоматизации и стабильной работы системы. может удовлетворить требования крупномасштабных производственных линий интегральных схем, может осуществлять традиционное окисление, отжиг оплавлением BPSG и другие процессы с регулируемым контролем температуры и высокой точностью.

Технические характеристики

• Высокоточная технология контроля температурного поля.
• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Графический интерфейс пользователя и система управления группами данных устройств.

Размер пластины: 8 дюймов.

Применимые материалы: кремний, карбид кремния.

Применимый процесс: сухое кислородное окисление, влажное кислородное окисление, окисление DCE, отжиг.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, составной полупроводник, область научных исследований.