Происхождение продукта: Шэньян, Китай
Пропускная способность: 50 комплектов
Устройство для нанесения магнетронного напыления с тремя головками VTC-600-3HD — это оборудование для нанесения покрытий, недавно разработанное нашей компанией, которое используется для изготовления однослойных или многослойных ферроэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок. , оптическая пленка, оксидная пленка, твердая пленка, пленка из ПТФЭ и т. д. Трехголовочная установка для магнетронного распыления VTC-600-3HD оснащена тремя целевыми пистолетами, одним источником радиочастотного питания для распыления покрытия непроводящих материалов и двумя источниками постоянного тока. расходные материалы для напыления токопроводящих материалов.
Технические характеристики
- Он оснащен тремя мишенными пистолетами, один источник ВЧ-питания используется для напыления непроводящих материалов, а два источника постоянного тока используются для напыления проводящих материалов (мишенной пистолет можно заменить в соответствии с потребностями клиента). .
- Можно получить разнообразные тонкие пленки для широкого спектра применений.
- Небольшой размер и простота в эксплуатации.
- Модульная конструкция всей машины; раздельная/раздельная конструкция вакуумной камеры, группы вакуумных насосов и источника питания управления, которые можно регулировать в соответствии с фактическими потребностями пользователей.
- Источник питания можно выбрать в соответствии с фактическими потребностями пользователя. Один источник питания может управлять несколькими целевыми орудиями, или несколько источников питания могут управлять одним целевым пистолетом.
Технические параметры
|
Наименование продукта |
VTC-600-3HD Трехголовочная магнетронная установка для нанесения покрытий |
|
Модель продукта |
VTC-600-3HD |
|
Условия установки |
Это оборудование необходимо использовать на высоте 1000 м или менее, при температуре 25°C±15°C и влажности 55%±10% относительной влажности. 1. Вода: Оборудование оснащено самоциркулирующим охладителем воды (наполнение чистой водой или деионизированной водой) 2. Электричество: 220 В переменного тока, 50 Гц, должно иметь хорошее заземление 3. Газ: Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном (чистота 99,99% или более), а баллоны с аргоном (с двойными наконечниками Ø6 мм) и редукционный клапан должны быть предоставлены пользователями. 4. Верстак: размер 1500 мм×600 мм×700 мм, несущий более 200 кг 5. Вентиляционное устройство: необходимо |
|
Основные параметры (Спецификация) |
1. Напряжение питания: 220 В, 50 Гц 2. Мощность: <2,5 кВт 3. Предел вакуума: E-6 мбар (E-5 мбар может быть достигнут при использовании с оборудованием нашей компании) 4. Температура нагрева: RT-500 °C, точность ±1 °C (температура может быть увеличена в соответствии с фактическими потребностями). 5. Количество орудий-мишеней: 3 шт 6. Способ охлаждения орудия-мишени: водяное охлаждение 7. Размер материала мишени: Ø2 дюйма, толщина 0,1-5 мм (разная толщина из-за разных материалов мишени) 8. Мощность распыления постоянного тока: 500 Вт (опционально) 9. Мощность радиочастотного распыления: 300 Вт / 500 Вт (опционально) 10. Столик образца: Ø140 мм, дополнительная функция напряжения смещения может быть установлена в соответствии с требованиями заказчика для достижения более высокого качества покрытия. 11. Скорость предметного столика: регулируется в пределах от 1 до 20 об/мин. 12. Рабочий газ: Ar,N2 и другие инертные газы 13. Путь всасываемого воздуха: массовый расходомер контролирует 2 пути впуска воздуха, один из которых составляет 100SCCM, а другой - 200SCCM. |
|
Размеры и вес продукта |
Размер основной машины: 500 мм×560 мм×660 мм Габаритные размеры: 1300 мм×660 мм×1200 мм Вес: 160 кг
|
|
Стандартные аксессуары |
1. Система управления питанием постоянного тока: 2 комплекта 2. Система управления радиочастотной мощностью: 1 комплект 3. Система контроля толщины пленки: 1 комплект 4. Молекулярный насос (импортирован из Германии): 1 шт. 5. Кулер для воды: 1 шт. 6. Полиэфирная полиуретановая труба (Ø6 мм): 4 м |
|
Дополнительные аксессуары |
1. Различные целевые материалы, такие как золото, индий, серебро, платина и т. Д. 2. Маска 3. Вибрационный образец |
Гарантия
Ограничено одним годом с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
|
Модель: |
Стоимость: |
|
Установка плазменного напыления с 3 источниками распыления |
По запросу |
JoomShopping Download & Support