Устройство вакуумного осаждения GlovePV-C

Применение

Alq3, CuPc, NPD, LiF, C60, BCP, PbI2, MAI, Ag, SnO2, MoO, WO, NiO
Al, Au, Ag

Размер подложки и грузоподъёмность

200 мм × 200 мм и 1 образец на партию

Технологическая камера

Органическая камера
Металлическая камера
Перовскитная камера
Перчаточный бокс

Вращение подложки

От 0 до 20 об/мин

Держатель подложки

Вращение и нагрев

Количество выпотной ячейки

От 2 до 6 яиц, средняя температура 650 °C

Количество лодок

От 2 до 6 шт.

Регулятор толщины

Кварцевый датчик и контроллер

Предельное давление

< 5,0E-7 Торр (криогенный насос или TMP)

Опция

Совместное испарение

Контроль

Ручное управление или управление с ПК

Модель

Стоимость, доллары США

Устройство вакуумного осаждения GlovePV-С

 По запросу