Эта система CVD специально разработана для производства графена с использованием мини-трубчатой печи при температуре 1200 ℃, оснащенной высокоточным массовым расходомером и тонкопленочным вакуумметром.
Технические характеристики
Эта система CVD специально разработана для производства графена с использованием мини-трубчатой печи при температуре 1200 ℃, оснащенной высокоточным массовым расходомером и тонкопленочным вакуумметром. По сравнению с обычным датчиком сопротивления Pirani, показания тонкопленочного датчика являются точными и не зависят от типа газа, что очень подходит для процесса вакуумного нанесения покрытия. В то же время оборудование оснащено устройством обнаружения горючих газов, которое соединено с электромагнитным клапаном на выходе воздуха. При возникновении утечки электромагнитный клапан можно закрыть для обеспечения безопасности.
Этот комплект оборудования занимает небольшую площадь и очень подходит для лабораторного приготовления CVD.
Технические параметры
|
1200℃ Параметры мини-трубчатой печи: |
|
|
Напряжение питания |
220 В переменного тока, 50 Гц |
|
Максимальная мощность |
2 кВт |
|
Зона нагрева |
Одна зона нагрева 200 мм |
|
Длина зоны постоянной температуры |
100 мм |
|
Нагревательный элемент |
Проволока из жаропрочного сплава |
|
Термопара |
Тип K |
|
Рабочая температура |
≤1150℃ |
|
Скорость нагрева |
Рекомендуется ℃/мин |
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
|
Способ контроля температуры |
30-сегментная технологическая кривая AI-PID с защитой от перегрева и выгорания |
|
Материал труб для печи |
Кварц высокой чистоты |
|
Размер трубы печи |
φ50 мм О.Д. x 450 мм Д |
|
Вакуумный насос |
Механический насос, скорость откачки 1,1 л/с |
|
Максимальный вакуум |
5Pa |
|
Параметры трехканального массового расходомера: |
|
|
Тип клапана |
Игольчатый клапан из нержавеющей стали |
|
Количество газовых каналов |
Три |
|
Диапазон давлений |
0,05 ~ 0,3 МПа |
|
Ассортимент |
Ar 0 ~ 500 см H2 0 ~ 200 см CH4 0 ~ 10 см |
|
Диапазон регулирования расхода |
±1.5% |
|
Объем смесительного бака |
750 мл |
|
Материал газового тракта |
нержавеющая сталь 304 |
|
Интерфейс трубы |
соединительный наконечник диаметром 6,35 мм |
|
Источник питания |
220 В Переменного тока 50 Гц |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Mini CVD tube furnace for preparing graphene |
По запросу |
JoomShopping Download & Support