Мини-версия радиочастотного ионного источника

Технические характеристики

Мини-версия радиочастотного источника ионов Bolton Optoelectronics серии RISE специально разработана для сценариев научно-исследовательских испытаний миниатюрных специальных источников ионов, подходит для распыления ионным пучком в небольшой вакуумной камере, ионно-лучевого травления, ионно-лучевого осаждения и других технологических применений, дополнительная многослойная сетка размером пор 5 см, гибкий и регулируемый диапазон энергии ионного пучка 50-1200 эВ, ток ионного пучка до 150 мА, опционально с запатентованной технологией нейтрализатор с полым катодом или радиочастотный нейтрализатор, Он поддерживает сверхдлительное время процесса, низкое тепловое излучение, отсутствие загрязнения, прост в использовании и обслуживании и отвечает потребностям микро-нанообработки ионным пучком, научных исследований и промышленного применения в различных областях применения, таких как прецизионная оптика, МЭМС, полупроводники, новые материалы и генная инженерия.

Технические параметры

Применение