Трубчатая печь PECVD с температурой 1200 °C (STGP-60-12)

Номер модели: STGP-60-12

Кварцевая трубка (наружный диаметр): Φ60 x 1200 мм

Длина зоны нагрева: 440 мм

Постоянная температура: 1200℃

Максимальная температура: 1100 °C

Нагревательный элемент: резистивный провод из высококачественного сплава (HRE)

Источник питания: 220 В/ 2,6 кВт

Точность измерения температуры: ±1 ℃

Термопара: N-образного типа

Технические характеристики

Система PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System) состоит из четырех модулей: трубчатой печи, вакуумметра, управления потоком и источника радиочастотного питания. Это оборудование использует выходную радиочастоту 13,56 МГц для ионизации газа, содержащего атомы, составляющие пленку, и образования плазмы, используя высокую химическую активность плазмы, улучшает условия реакции и заставляет газообразные вещества, содержащие тонкие пленки, вступать в химическую реакцию, что позволяет реализовать новую технологию получения для выращивания тонких пленок. тонкопленочные материалы и, наконец, получают желаемую тонкую пленку, нанесенную на подложку, которая подходит для пленок SiO2 и SiNx, нанесенных при температуре 1200 °C.

1. Система трубчатой печи CVD состоит из трубчатой печи, системы сбора вакуума, управления потоком и источника радиочастотного питания
2. Трубчатая печь может выбирать различные диаметры труб и длину зоны постоянной температуры, а два конца трубы оснащены высоковакуумными уплотнительными фланцами из нержавеющей стали;
3. Система сбора вакуума может выбирать различные вакуумные насосы в соответствии с требованиями к испытаниям. Степень разрежения механического вакуумного насоса с вращающимися лопастями составляет ≤5 па, а степень разрежения вакуумной установки молекулярного насоса составляет 1×10-4 па;
4. Система подачи воздуха может выбирать 3-х позиционную поплавковую ручную и 3-х позиционную автоматическую систему массового расхода
5. Измерение вакуума с помощью цифровой составной вакуумной машины или вакуумметра Pirani
6. Выберите источник питания оборудования с частотой 13,56 МГц для плазменного разряда, а выходную мощность можно выбрать 200 Вт, 300 Вт и 500 Вт
7. Трубчатая печь может выбрать одну температурную зону диаметром 440 мм или выбрать три температурные зоны или несколько температурных зон для проверки температурного градиента
8. Встроенный цифровой коммуникационный порт RS485 и USB-адаптер термостата являются дополнительными конфигурациями, которые могут быть подключены к ПК для дистанционного управления и мониторинга системы, а также для сохранения или экспорта результатов тестирования.
9. Изделие соответствует европейскому стандарту CE.

Функция создания вакуумной атмосферы

1. С уплотнительным фланцем из нержавеющей стали марки 304 для создания вакуума или атмосферы в трубе печи
2. Рабочая трубка из высококачественного кварцевого стекла, а также металлическая или корундовая рабочая трубка также могут быть выбраны для адаптации к различным условиям работы
3. Высокопроизводительный биполярный роторно-лопастной вакуумный насос обеспечивает разрежение до 5 па, а цифровой вакуумметр может отображать степень разрежения
4. Благодаря блоку управления воздушным контуром блок управления может выбирать 1-3 способа автоматического управления MFC

Технические параметры

Аксессуары