Применение
Осаждение туннельного оксидного слоя, i-Poly и D-poly для солнечных элементов TOPCon.
Технические характеристики
- Характеристики технологии низкого давления и тепловой стены, хорошее равномерство и плотность пленки.
- Характеристики процесса LPCVD, высокая плотность подложки мало влияет на скорость осаждения пленки, большая вместимость одной трубки.
- Больше настроек температурной зоны, надежно гарантируя однородность между листами.
- Независимо регулируемый сегментированный воздухозаборник для компенсации эффекта истощения воздушного потока.
Технические параметры
|
Размер пластины |
230 мм |
|
Конфигурация трубки |
5 трубок/6 трубок |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
LD-420/LD-420L/LD-420MAX |
По запросу |
JoomShopping Download & Support