Электроннолучевой испаритель SEE-7

Материалы для нанесения

Металл: Ag, Al, Au, Cu, Sn, Ti, Pt, Ge, Ni, Au
Оксид: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5
TCO: ITO

Размер подложки

Макс. 8 дюймов

Выход продукта

22 пластины/запуск при 4 дюймах, 9 пластин/запуск при 6 дюймах, 3 пластины/запуск при 8 дюймах

Нагреватель лампы

Макс. 200 ℃

Электронно-лучевая пушка

40 куб. см x 4 шт., 25 куб. см x 4 шт., 15 куб. см x 6 шт. или 7 куб. см * 4 шт.

Источник питания электронного луча

6 кВт, 10 кВт или 15 кВт

Карманный селектор

6 карманный индексатор

Контроллер развертки луча

Цифровое управление разверткой

Регулятор толщины

Один кварцевый датчик и контроллер или два датчика

Предельное давление

< 5,0E-7 Торр (криогенный насос или TMP)

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Опция

Двойная электронная пушка, ионный источник, планетарный купол, двойные или шестикристальные датчики

Размеры (Ш*Д*В)

1350 мм x 2100 мм x 2200 мм

Модель

Стоимость, доллары США

Электроннолучевой испаритель SEE-7

 По запросу