Электроннолучевой испаритель SEE-5

Материалы для нанесения

Металл: Ag, Al, Au, Cu, Sn, Ti, Pt, Ge, Ni, Au
Оксид: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5
TCO: ITO

Размер подложки

Макс. 8 дюймов

Выход продукта

5 пластин на 4-дюймовом станке, 3 пластины на 6-дюймовом станке

Нагреватель лампы

Макс. 200 ℃

Электронно-лучевая пушка

15 куб. см x 6 шт., 25 куб. см x 4 шт. или 7 куб. см * 4 шт.

Источник питания электронного луча

6 кВт или 10 кВт

Карманный селектор

6 карманный индексатор

Контроллер развертки луча

Цифровое управление разверткой

Регулятор толщины

Одиночный кварцевый датчик и контроллер

Предельное давление

< 5,0E-7 Торр (криогенный насос или TMP)

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Опция

Камера Loadlock, источник ионов, охлаждение подложки — наклон и вращение

Размеры (Ш*Д*В)

1010 мм x 1460 мм x 1790 мм

Модель

Стоимость, доллары США

Электроннолучевой испаритель SEE-5

 По запросу